申請?zhí)枺?01510241996.X
　　申請人：華僑大學
　　發(fā)明人：陸靜 徐西鵬 李東旭 王亞光 賴孟玲

　　摘要：本發(fā)明公開了一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒及其制備方法和應用，該摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒包括粒徑50nm～10μm的金剛石核心和二氧化鈦殼層，該二氧化鈦殼層通過恒溫水解反應制備且前驅體為硫酸氧鈦，同時該二氧化鈦殼層上共摻雜有Fe3+和N，N/Ti摩爾比為1％～13％。本發(fā)明的摻雜二氧化鈦金剛石復合磨?？梢詮V泛應用在固結、半固結及游離拋光工具的制備，利用該復合磨粒制備的半固結柔性拋光工具，不僅能夠明顯提高SiC晶圓的加工效率，而且還能獲得光滑無損的表面質量。

　　主權利要求：1.一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒，其特征在于：包括粒徑50nm～10μm的金剛石核心和二氧化鈦殼層，該二氧化鈦殼層通過恒溫水解反應制備且前驅體為硫酸氧鈦，同時該二氧化鈦殼層上共摻雜有Fe3+和N，N/Ti摩爾比為1％～13％。
　　2.如權利要求1所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒，其特征在于：所述N/Ti 摩爾比為1％～10％。
　　3.一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于：包括如下步驟： (1)將金剛石磨粒添加到蒸餾水中進行剪切和超聲分散，形成均勻穩(wěn)定的懸浮液， 該金剛石磨粒的粒徑為50nm～10μm； (2)將硫酸氧鈦加熱溶解于水中后與Fe3+溶液混合，再加入到已經溶解的NH4Cl溶 液中，形成混合溶液，該混合溶液中Fe3+的質量分數為0.1％～0.7％，N/Ti摩爾比為1％～13％； (3)將步驟(1)制備的懸浮液和步驟(2)制備的混合溶液混合均勻，邊攪拌邊進 行恒溫水解反應，反應溫度為40～55℃，反應時間為10～27小時，攪拌速度為50～75rmp； (4)將步驟(3)反應后得到的物料進行離心分離，并洗滌干燥，得到所述摻雜二氧 化鈦金剛石復合磨粒。
　　4.如權利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述金剛石磨粒的粒徑為50nm、100nm、250nm、500nm、1μm、3μm、5μm和10μm中 的至少一種。
　　5.如權利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述步驟(2)為：將硫酸氧鈦加熱溶解于水中后與Fe3+溶液混合，再加入到已經溶解的 NH4Cl溶液中，形成混合溶液，該混合溶液中Fe3+的質量分數為0.1％～0.5％，N/Ti摩爾比 為1％～10％。
　　6.如權利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述步驟(3)為：將步驟(1)制備的懸浮液和步驟(2)制備的混合溶液混合均勻，邊 攪拌邊進行恒溫水解反應，反應溫度為40～50℃，反應時間為12～24小時，攪拌速度為 60rmp。
　　7.權利要求1或2所述的摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒在固結、半固結及游離拋光 工具加工SiC晶圓中的應用。