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　　申請人：天津市乾宇超硬科技有限公司

　　摘要：本發(fā)明提供制備多種粒度的用于晶體加工的水基金剛石拋光液的方法，該拋光液適宜拋光多種晶體。使用高剪切乳化機，該設備的攪拌工作頭直徑不低于56mm，最高轉速不低于15000rpm；使用黏度調節(jié)劑，制成不同黏度的拋光液以滿足諸多用戶的不同需求。本發(fā)明產品具有拋光、潤滑、冷卻、除屑等功能。它的成分：水、金剛石、潤濕劑、表面活性劑、黏度調節(jié)劑、防銹劑、潤滑劑、消泡劑、防腐殺菌劑和pH調節(jié)劑。用1um單晶金剛石拋光液拋光SiC晶體，拋光效率達0.08um/min，其表面粗糙度Ra由80nm經拋光后降至0.91nm；用0.125um多晶納米金剛石拋光液拋光SiC晶體其表面粗糙度Ra可達0.1～0.3nm。

　　主權利要求：1.用于晶體加工的水基金剛石拋光液的制造方法，其特征在于：(1)它的組成成分：水85～98％，金剛石0.1～10％，潤濕劑0.2～3％，表面活性劑0.1～5％，黏度調節(jié)劑0.01～5％，防銹劑0～1％，潤滑劑1～8％，消泡劑0.0005～0.1％，防腐殺菌劑0.02～1％，pH調節(jié)劑逐滴加入，不計入總量；(2)成分中的金剛石包括：用靜壓觸媒法制造的亞毫米級金剛石經破碎、整形、粒度分級和提純凈化后獲得的微米級和亞微米級單晶金剛石微粉；用爆轟法(負氧平衡法)制造的單晶納米金剛石；以及用爆炸法制造的多晶納米金剛石；(3)制造工藝中使用：高剪切乳化機，該設備的攪拌工作頭直徑不低于56mm，最高轉速不低于15000rpm。它可使金剛石顆粒之間的軟團聚充分分散，使多種試劑混合均勻，并使金剛石顆粒均勻地分散穩(wěn)定地懸浮在液體中，轉速控制在10000～15000rpm，處理時間10～60min。

　　2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：使用黏度調節(jié)劑，制成不同黏度的拋 光液以滿足諸多用戶的不同需求，所述的黏度調節(jié)劑是指下列試劑中的一種或多種混合：硅 酸鎂鋁、膨潤土、凹凸棒土、蒙脫土、黃原膠、卡拉膠、阿拉伯膠、羧甲基纖維素鈉、聚丙 烯酸鈉。

　　3.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的潤濕劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：去離子水、乙二醇、聚乙二醇、丙三醇。

　　4.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的表面活性劑是指下列試劑中的 一種或多種混合：聚乙二醇、六偏磷酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、丙三醇、1-縮二乙二醇、三 乙醇胺。

　　5.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的pH調節(jié)劑是指下列試劑中的一 種或多種混合：氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鈉、三乙醇胺、六偏磷酸鈉、氨水、磷酸、硝酸、 氫氟酸。

　　6.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的防銹劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：三乙醇胺、乙醇胺硼酸鹽、重鉻酸鉀、苯丙三氮唑、碳酸鈉、亞硝酸鈉。

　　7.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的潤滑劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：乙二醇、聚乙二醇、脂肪皂酸、丙三醇。

　　8.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的消泡劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：乙醇、辛醇、聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚、高碳醇脂肪酸酯復合物DSA-5、油酸、 乳化二甲基硅油。

　　9.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的防腐殺菌劑是指下列試劑中的一 種或多種混合：脫氫醋酸鈉、過氧化氫、2-苯基苯酚鈉鹽、對羥基苯甲酸乙酯鈉、戊二醛、 山梨酸鉀、苯甲酸鈉、亞硝酸鈉、次氯酸鈣。