申請?zhí)枺?01410240868.9

　　申請人：大連理工常州研究院有限公司

　　摘要：一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種制備金剛石膜的設備，該設備包括電源及控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)及沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述沉積系統(tǒng)上連接有真空系統(tǒng)和供氣系統(tǒng)，所述沉積系統(tǒng)包括左腔室、右腔室、中部腔室和熱絲調(diào)力機構(gòu)，所述中部腔室固定安裝于真空系統(tǒng)之上，左腔室和右腔室分別轉(zhuǎn)動安裝于中部腔室兩側(cè)，熱絲豎直固定安裝于中部腔室內(nèi)部，熱絲下端連接有熱絲調(diào)力機構(gòu)。本發(fā)明采用熱絲豎直安裝于中部腔室上，真空室采用雙開門立式布局，待鍍膜試樣分別安裝于兩個真空室內(nèi)壁，熱絲下端安裝熱絲調(diào)力機構(gòu)，實現(xiàn)高效、穩(wěn)定、均勻的制備金剛石薄膜，該設備簡單，生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)成本低。

　　主權(quán)利要求：1.一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，包括電源及控制系統(tǒng)(1)、真空系統(tǒng)(7)、供氣系統(tǒng)(6)及沉積系統(tǒng)(22)，其特征在于：所述沉積系統(tǒng)(22)上連接有真空系統(tǒng)(2)和供氣系統(tǒng)(3)，所述沉積系統(tǒng)包括左腔室(41)、右腔室(42)、中部腔室(3)和熱絲調(diào)力機構(gòu)，所述中部腔室(3)固定安裝于真空系統(tǒng)之上，左腔室(41)和右腔室(42)分別轉(zhuǎn)動安裝于中部腔室(3)兩側(cè)，熱絲(14)豎直固定安裝于中部腔室(3)內(nèi)部，熱絲(14)下端連接有熱絲調(diào)力機構(gòu)。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：所述供氣系統(tǒng)(6)通過氣體管道(5)連接于沉積系統(tǒng)(22)的中部腔室 (3)之上。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：所述中部腔室(3)包括真空室上壁板(81)和真空室下壁板(82)，固定 支架(15)固定安裝于真空室上壁板(81)之上，上電極板(9)固定安裝于固 定支架(15)上，熱絲調(diào)力機構(gòu)固定安裝于真空室下壁板(82)之上，下電極 板(10)固定于熱絲調(diào)力機構(gòu)上端，熱絲(14)兩端分別固定于上電極板(9) 和下電極板(10)之上。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：所述熱絲調(diào)力機構(gòu)采用保護鐘罩(12)固定安裝于真空室下壁板(82)之 上，滾軸(20)固定安裝于保護鐘罩(12)內(nèi)部，保護鐘罩上端設有限位通孔； 熱絲調(diào)力滑板(11)上端與下電極板(10)連接，熱絲調(diào)力滑板(11)下端依 次穿過保護鐘罩(12)上的限位通孔和滾軸(20)。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：所述熱絲調(diào)力滑板(11)下端依次穿過保護鐘罩(12)上的限位通孔和滾 軸(20)后，再與配重(13)相連。

　　6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：所述熱絲調(diào)力滑板(11)下端依次穿過保護鐘罩(12)上的限位通孔和滾 軸(20)后，再與調(diào)力彈簧相連，調(diào)力彈簧另一端與真空室下壁板(82)或保 護鐘罩(12)底壁相連。

　　7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：所述左腔室(41)和/或右腔室(42)內(nèi)部固定安裝有試樣固定機構(gòu)(21)。

　　8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：所述試樣固定機構(gòu)(21)采用側(cè)部底座(17)固定安裝于左腔室(41)和/ 或右腔室(42)內(nèi)壁，固定盤(18)固定于側(cè)部底座(17)上，固定管(19) 固定于固定盤(18)上。

　　9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙開門立式制備金剛石膜的設備，其特征在 于：左腔室(41)和右腔室(42)分別通過轉(zhuǎn)動軸(2)轉(zhuǎn)動安裝于中部腔室(3) 兩側(cè)壁之上。