獨立權(quán)利要求：1.一種基于固結(jié)磨料拋光墊的藍寶石襯底的超精密加工方法，其特征是包括以下步驟：  (1)采用W75的鍍鎳金剛石固結(jié)磨料研磨拋光墊FAP對切割后的藍寶石毛坯進行粗磨，控制環(huán)境溫度為10～30℃，研磨壓力在0.1～0.3Mpa，拋光液流量為100～300ml/min，工作臺轉(zhuǎn)速為75～150r/min，粗磨時間控制在5～10min；  (2)采用W28的鍍鎳金剛石固結(jié)磨料研磨拋光墊FAP對粗磨后的工件進行精磨，控制環(huán)境溫度為10～30℃，研磨壓力在0.05～0.2Mpa，拋光液流量為100～300ml/min，工作臺轉(zhuǎn)速為75～150r/min，精磨時間控制在15～30min；  (3)采用W5的金剛石FAP對精磨后的藍寶石進行拋光，控制拋光溫度在10～30℃，拋光壓力控制在0.025～0.1Mpa，拋光液流量為100～200ml/min，拋光轉(zhuǎn)速為100～200r/min，拋光液pH值控制在8～11，拋光時間控制在40～90min，即完成研磨和拋光過程。  2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述的固結(jié)磨料研磨拋光墊為樹脂和金剛石磨料均勻混合固化制備而成。  3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述步驟(1)和(2)使用的固結(jié)磨料研磨拋光墊中采用鍍鎳金剛石磨料，鍍鎳金剛石為金剛石粉末顆粒表面電鍍一層氧化鎳，鍍覆后金剛石質(zhì)量增加到原來的110％～200％。  4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述步驟(3)使用的固結(jié)磨料研磨拋光墊中采用沒有鍍鎳的普通金剛石。  5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所有拋光液均為由去離子水和多種化學(xué)添加劑組成，并滿足下述公式：W＝Aα+Bβ+Cγ+Dμ+Eη，式中W為拋光液體積總量1，A為去離子水在拋光液中所占的最高體積分數(shù)，B為三乙醇胺在拋光液中的最高體積分數(shù)，C為烷基酚聚氧乙烯醚在拋光液中的最高體積分數(shù)，D為乙二胺在拋光液中的最高體積分數(shù)，E為丙三醇在拋光液中的最高體積分數(shù)，α、β、γ、μ、η分別為A、B、C、D、E實際添加量的系數(shù)。  6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于A的值為90％，B的值為20％，C的值為10％，D的值為10％，E的值為20％。  7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，α、β、γ、μ、η的取值范圍如下  0.8≤α≤1  0≤β≤1  0.3≤γ≤1           0≤μ≤1  0≤η≤1。  8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述每一步驟完成后，都要將所述工件和拋光 設(shè)備清洗干凈，并且隨后執(zhí)行下一步驟研磨或拋光。