名稱 | 從金剛石線鋸切割硅片廢料漿中回收多晶硅的方法 | ||
申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 201210127930 | 申請(qǐng)日 | 2012年4月27日 |
公開號(hào) | 102642837A | 公開日 | 2012年8月22日 |
申請(qǐng)人 | 河南新大新材料股份有限公司 | 地址 | 河南省開封市禹王臺(tái)區(qū)開封市精細(xì)化工園區(qū) |
發(fā)明人 | 羅小軍 宋賀臣 姜維海 郝玉輝 | 主分類號(hào) | C01B 33/037 |
國家/省市 | 中國河南( 41 ) | 分類號(hào) | C01B 33/037 |
摘要 | 本發(fā)明涉及一種回收金剛石線鋸切割硅片廢料漿中多晶硅的方法。主要包括以下步驟:將廢料漿進(jìn)行固液分離;在固體物中加入混合酸,反應(yīng)10~12小時(shí)后脫酸,清洗至中性;以純水造漿后用旋流器分離出大部分金剛石,壓濾后得到含量為99%的硅料,再將其分散在重液中,離心分離后用純水反復(fù)清洗;將清洗后的料漿通過大孔離子交換樹脂裝置去除離子,干燥得到99.99%的硅粉;硅粉壓制成塊后在多晶硅鑄錠爐中鑄錠,切除雜質(zhì),得到純度為99.9999%的硅錠。本發(fā)明不同于傳統(tǒng)多晶硅制備及回收技術(shù),工藝簡(jiǎn)單、成本低廉,易于工業(yè)化生產(chǎn)。 | ||
獨(dú)立權(quán)利要求 | 1.一種從金剛石線鋸切割硅片廢料漿中回收多晶硅的方法,包括以下步驟:(1)向待處理的金剛石線鋸切割硅片廢料漿中加入純水調(diào)節(jié)料漿質(zhì)量百分比濃度為10%~20%,然后置離心分離裝置中進(jìn)行離心分離,去除分離液,壓濾得到硅含量≥90%的固體物料;(2)按照固體物料:混合酸=1:1~2的質(zhì)量比向置于反應(yīng)釜中的上述固體物料加入無機(jī)混合酸,調(diào)節(jié)攪拌轉(zhuǎn)速為50~90r/min,反應(yīng)溫度控制為50~70℃,反應(yīng)10~12小時(shí)后脫酸,以純水清洗至中性后壓濾,得濾餅;(3)取上步所得濾餅加純水造漿,調(diào)節(jié)其料漿質(zhì)量百分比濃度為2~5%,再以旋流分級(jí)裝置分離出金剛石,壓濾后得到硅含量≥99%的硅料;(4)將上述硅料均勻分散于比重為2.4~3.5g/cm3的重液中后,再以離心機(jī)對(duì)其進(jìn)行離心分離,取上層硅料用純水反復(fù)清洗去除重液后,壓濾得濾餅;(5)對(duì)上步所得濾餅以純水造漿,調(diào)節(jié)其料漿質(zhì)量百分比濃度至1~3%后,通入大孔離子交換樹脂裝置去除離子,壓濾后真空干燥得純度≥99.99%的硅粉;(6)以等靜壓機(jī)將上步所得硅粉壓制成塊,然后在多晶硅鑄錠爐中鑄錠,并切除雜質(zhì),得到純度≥99.9999%的硅錠。 |