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官方微信摘要 名稱制造晶片用的碳化硅舟的切割制造方法公開號1375383公開日2002.10.23主分類號B26F3/12&nbs
| 名稱 | 制造晶片用的碳化硅舟的切割制造方法 | ||
| 公開號 | 1375383 | 公開日 | 2002.10.23 |
| 主分類號 | B26F3/12 | 分類號 | B26F3/12;C01B31/36 |
| 申請?zhí)?/strong> | 02111506.0 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2002.04.25 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 張彩根 | 地址 | 313009浙江省湖州市南潯開發(fā)區(qū)南潯大橋北堍 |
| 發(fā)明人 | 張彩根 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 寧波誠源專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 張剛 |
| 摘要 | 本發(fā)明是一種制造晶片用的碳化硅舟的切割制造方法，其特征是本發(fā)明采用的是線切割的加工方法，其工藝流程包含有(1)從碳化硅管上切割取坯料、 (2)對坯料進行成形切割、梳出梳縫、(3)對初成品進行多道清洗，所用的清洗液有洗潔凈、三氯乙烯、硫酸和雙氧水，氫氟酸和純水等、(4)清洗完后進行退火熱處理、(5)然后再清洗、(6)接著是采用氫氧火焰(H#-[2]O#-[2])對初成品進行拋光的工序、 (7)為了消除拋光時產(chǎn)生的應(yīng)力再進行退火熱處理、(8)接著再進行清洗、(9)對初成品進行投影檢測獲合格品。本發(fā)明的優(yōu)點是：設(shè)備投資小、制造成本低、是高科技產(chǎn)品卻可使用低成本、勞動密集型的作業(yè)方式來生產(chǎn)。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號