名稱 | 高溫應(yīng)用碳化硅場效應(yīng)晶體管及其使用和制造方法 | ||
公開號 | 1347570 | 公開日 | 2002.05.01 |
主分類號 | H01L29/78 | 分類號 | H01L29/78;H01L29/24;H01L21/336 |
申請?zhí)?/strong> | 00806545.4 | ||
分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2000.04.20 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | 1999.4.22__SE_9901440-9 | |
申請人 | 阿克里奧股份公司 | 地址 | 瑞典基斯塔 |
發(fā)明人 | 安德瑞·康斯坦特諾夫;克里斯托弗·哈里斯;蘇珊·薩維 | 國際申請 | PCT/SE00/00773 2000.4.20 |
國際公布 | WO00/65660 英 2000.11.2 | 進入國家日期 | 2001.10.22 |
專利代理機構(gòu) | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 王永剛 |
摘要 | 用于高溫應(yīng)用的SiC場效應(yīng)晶體管具有與其中設(shè)置了柵極(12)的前表面(14)垂直分開的源區(qū)層(4)、漏區(qū)層(5)和溝道區(qū)層(6、7),在晶體管工作時用于減小所述前表面的電場,在作為氣體傳感器工作情況下,容許除了柵極以外的所有電極被保護而不暴露于氣氛。 |