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微磨料空氣射流加工玻璃微流道結(jié)構(gòu)研究

摘要采用微磨料氣射流加工技術(shù)（MAJM），對普通硅酸鹽玻璃進(jìn)行微流道槽加工。對通過掩膜加工與非掩膜加工效果相比較，得出在掩膜加工過程中，由于磨料的二次反彈沖蝕作用，所加...

日期 2010-03-17   
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