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真空下的固相接觸主要有三種方法

1.真空蒸鍍;2.真空濺射鍍:包括普通濺射,磁控濺射;3.真空離子鍍:包括空心陰極離子鍍,活性反應(yīng)離子鍍。真空下氣相分子的平均自由程增大,蒸發(fā)粒子與氣體分子的碰撞次數(shù)減...

日期 2005-06-15   
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