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鄭州華晶金剛石股份有限公司

一種有機(jī)堿腐蝕介質(zhì)的稀土拋光液

關(guān)鍵詞 拋光 , 堿性 , 專利 , 稀土|2006-08-22 00:00:00|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 申請(專利)號:CN200610001059.8申請日:2006.01.18公開(公告)號:CN1807540公開(公告)日:2006.07.26主分類號:C09K3/14(200...

  申請(專利)號: CN200610001059.8
  申請日: 2006.01.18
  公開(公告)號: CN1807540
  公開(公告)日: 2006.07.26
  主分類號: C09K3/14(2006.01)I
  分類號: C09K3/14(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)N
  申請(專利權(quán))人: 北京工業(yè)大學(xué)
  地址: 100022北京市朝陽區(qū)平樂園100號
  發(fā)明(設(shè)計)人: 聶祚仁;梅 燕;韓業(yè)斌;鄒景霞;王艷麗
  專利代理機(jī)構(gòu): 北京思海天達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
  代理人: 張 慧
  
  摘要:
  本發(fā)明屬于化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域?,F(xiàn)有日本的幾種拋光液產(chǎn)品主要為金剛石磨料的堿性溶液,由于其中磨粒粒徑大小不均勻,不能很好的解決機(jī)械作用造成的損傷和應(yīng)力的問題,無法達(dá)到光滑鏡面的目的。本發(fā)明提供的一種有機(jī)堿腐蝕介質(zhì)的稀土拋光液,包括磨料二氧化鈰和腐蝕劑有機(jī)堿三乙醇胺,重量百分比含量為二氧化鈰0.5%~5%、三乙醇胺為0.05~1.0%,其余為H2O。本發(fā)明的拋光液中還可包含0.25%~1.0%的氧化劑鐵氰化鉀。上述拋光液在加入氧化劑鐵氰化鉀還可同時加入重量百分含量為5%~15%過氧化氫。本發(fā)明的拋光液用于單晶硅片表面拋光,克服了使用現(xiàn)有拋光液中磨料硬度高造成的表面劃傷和選擇其他種類腐蝕介質(zhì)帶來的缺陷,獲得了理想的光滑鏡面拋光效果。
  
 

 

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