上海征世科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng):征世科技)宣布成功研發(fā)出2英寸(1英寸=2.54 cm)單晶金剛石晶圓。這一重大突破標(biāo)志著征世科技在單晶金剛石領(lǐng)域的技術(shù)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,為未來(lái)寬禁帶半導(dǎo)體、功率器件、量子計(jì)算等領(lǐng)域的應(yīng)用開(kāi)辟了廣闊前景。
具體參數(shù):
尺寸:2英寸
厚度:0.3~3.0 mm
熱導(dǎo)率:1800~2200 W/(m·K)
偏離角:(100)面偏角3°左右
氮濃度:0.2×10-6以下
2英寸單晶金剛石晶圓實(shí)物圖
單晶金剛石,被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體材料”,是制造下一代高性能電子器件的理想材料。然而,由于單晶金剛石生長(zhǎng)條件苛刻、技術(shù)難度大,大尺寸、高質(zhì)量單晶金剛石晶圓的制備一直是國(guó)際性難題。
征世科技憑借多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新精神,成功攻克了單晶金剛石晶圓制備過(guò)程中的多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)難題,實(shí)現(xiàn)了2英寸單晶金剛石晶圓的自主可控生產(chǎn)。是征世科技發(fā)展歷程中的重要里程碑,不僅打破了國(guó)外技術(shù)壟斷,也為我國(guó)寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的材料支撐。該產(chǎn)品具有晶體質(zhì)量高、缺陷密度低、表面粗糙度小等優(yōu)點(diǎn),各項(xiàng)性能指標(biāo)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
2英寸單晶金剛石晶圓的紫外-可見(jiàn)光譜圖(a)和傅里葉紅外光譜圖(b)
上海征世科技股份有限公司
上海征世科技股份有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體的跨國(guó)高新技術(shù)企業(yè)??茖W(xué)家團(tuán)隊(duì)于2002年開(kāi)啟了CVD技術(shù)研發(fā)之路。征世科技擁有專(zhuān)業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì),持續(xù)探索運(yùn)用創(chuàng)新方法和技術(shù),已申請(qǐng)專(zhuān)利百余項(xiàng),并通過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證。擁有先進(jìn)的核心生產(chǎn)技術(shù)“MPCVD法”,是全球?qū)崿F(xiàn)直接生長(zhǎng)高品質(zhì)CVD鉆石的領(lǐng)軍企業(yè)。
征世科技深耕MPCVD法,擁有國(guó)際領(lǐng)先的研發(fā)生產(chǎn)能力。征世科技的CVD鉆石高凈高色、更大克拉,純自然生長(zhǎng),無(wú)需改色處理。廣泛應(yīng)用于珠寶首飾及工業(yè)散熱、半導(dǎo)體、高端電子、汽車(chē)自動(dòng)駕駛等科技領(lǐng)域。