經(jīng)過MPCVD（微波等離子體化學(xué)氣相沉積）、激光切割、雕琢等工序，一顆顆金剛石被制作成散熱片等產(chǎn)品，成為半導(dǎo)體基體材料“新貴”。4月22日，位于荊州經(jīng)開區(qū)的湖北瑞華科技有限公司生產(chǎn)車間里，數(shù)臺自動化切割機并排作業(yè)，忙碌有序。

       “你看，金剛石經(jīng)過MPCVD，就像蒸饅頭一樣逐漸變大?！比鹑A科技車間主任甘俊偉說，經(jīng)過“膨脹”的金剛石，在切割機的精細(xì)操作下，襯底與生長層被巧妙地分離。生長層既可以被雕琢成熠熠生輝的鉆石，也可以被切成薄片，用作高效的散熱片。分離出來的襯底可以再次用于MPCVD的生長，循環(huán)利用。

       瑞華科技于2022年11月落戶荊州，是一家聚焦高端功能金剛石材料生產(chǎn)的高科技企業(yè)，力求在大尺寸、高質(zhì)量金剛石生長裝備及金剛石生長技術(shù)上取得重大突破，破解我國在這一領(lǐng)域的技術(shù)難題。

       今年2月，瑞華科技一期項目進(jìn)入試生產(chǎn)階段，首批50臺機器主要生產(chǎn)散熱片、鉆石等產(chǎn)品。

       “鉆石就是我們在市面上看到的裸鉆，散熱片主要運用于集成電路里面，在汽車等行業(yè)中發(fā)揮著不可或缺的作用?！备士ソ榻B，所有的電器元件在運行中都會產(chǎn)生熱量，隨著電路集成度的不斷提升，散熱需求也日益增長。與傳統(tǒng)散熱材料相比，金剛石散熱能力更強，是銅的5倍，硅的10倍，未來應(yīng)用場景十分廣闊。

       據(jù)介紹，我國是人造金剛石生產(chǎn)大國，但產(chǎn)品主要集中在磨料磨具領(lǐng)域，高端應(yīng)用尚處于起步階段，在金剛石功能材料領(lǐng)域長期被國外壟斷。

       瑞華科技辦公室主任毛莉介紹，公司研發(fā)中心位于武漢，數(shù)年前率先在國內(nèi)布局第四代半導(dǎo)體材料裝備和生長工藝研發(fā)，推進(jìn)我國高端金剛石的深度產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，成功研制分子束外延（MBE）和金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）兩種半導(dǎo)體材料生長裝備與相關(guān)工藝。

       “天然金剛石材料成本較高，我們正致力于加大研發(fā)力度，優(yōu)化生產(chǎn)工藝，用MPCVD法生產(chǎn)出來的金剛石替代天然金剛石?！泵蛘f，公司正積極與一些研究所、知名新能源汽車品牌合作，加快金剛石散熱片新材料的應(yīng)用進(jìn)程。