兩個(gè)1克拉鉆石的總價(jià)之和,肯定不如一個(gè)2克拉鉆石的單價(jià)。但是,怎么樣才能讓他們生長(zhǎng)到一起呢?
大尺寸晶圓級(jí)單晶金剛石,性能優(yōu)異、需求迫切,可是現(xiàn)有的制備手段都面臨各自的瓶頸,又該如何突破?
哈爾濱工業(yè)大學(xué)朱嘉琦教授團(tuán)隊(duì)研究了單晶金剛石拼接長(zhǎng)大的問題。他們提出了單晶金剛石“同質(zhì)連接”生長(zhǎng)的概念,認(rèn)為CVD金剛石制備方法中,馬賽克式生長(zhǎng)和圖案化生長(zhǎng)的本質(zhì)共性都是同質(zhì)連接,這一廣義概念還囊括了單晶/多晶金剛石薄膜沉積的相似屬性、機(jī)理和過程。生長(zhǎng)過程中,要打破基底限制的瓶頸,以獲得具有高晶體品質(zhì)和多元結(jié)構(gòu)的大尺寸金剛石自支撐薄膜。
相關(guān)的成果以“Coessential-connection by microwave plasma chemical vapor deposition: a common process towards wafer scale single crystal diamond”為題,發(fā)表在Functional Diamond 雜志上。(點(diǎn)擊此處閱讀原文)
通信作者
朱嘉琦博士,哈爾濱工業(yè)大學(xué)科學(xué)技術(shù)研究院院長(zhǎng),航天學(xué)院教授、博導(dǎo),長(zhǎng)江學(xué)者特聘教授,國(guó)家杰出青年基金,萬人計(jì)劃領(lǐng)軍人才。主要從事光電晶體、薄膜及器件等研究,擔(dān)任中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)薄膜與涂層分會(huì)副理事長(zhǎng)、中國(guó)儀表材料學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)、中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)表面工程分會(huì)副主任。獲得中國(guó)青年科技獎(jiǎng)、省青年五四獎(jiǎng)?wù)碌葮s譽(yù)。負(fù)責(zé)的紅外薄膜與晶體團(tuán)隊(duì)入選科工局國(guó)防科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)。以負(fù)責(zé)人承擔(dān)國(guó)家自然科學(xué)基金6項(xiàng)、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題1項(xiàng),以及多個(gè)國(guó)防類重點(diǎn)項(xiàng)目,多項(xiàng)成果已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。獲授權(quán)發(fā)明專利80余項(xiàng),發(fā)表SCI論文240余篇。