9月19日，廣東省科技廳發(fā)布通知，正式啟動(dòng)2019年度廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃“第三代半導(dǎo)體材料與器件”重大專項(xiàng)項(xiàng)目申報(bào)工作。該重點(diǎn)專項(xiàng)目標(biāo)是：圍繞第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵材料、器件、模組以及可靠性測(cè)試技術(shù)等方面的迫切需求，在第三代半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)技術(shù)及設(shè)備、功率器件與模塊、射頻器件與模塊、深紫外固態(tài)光源等方面，開(kāi)展核心技術(shù)攻關(guān)與應(yīng)用研究。

       本專項(xiàng)重點(diǎn)部署6個(gè)專題，每個(gè)專題含多個(gè)項(xiàng)目，其中包括MPCVD半導(dǎo)體金剛石單晶材料生長(zhǎng)設(shè)備及關(guān)鍵工藝技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目。具體相關(guān)內(nèi)容如下：
       項(xiàng)目名稱：MPCVD 半導(dǎo)體金剛石單晶材料生長(zhǎng)設(shè)備及關(guān)鍵工藝技術(shù)攻關(guān)

       研究?jī)?nèi)容：

       1）開(kāi)展基于微波誘導(dǎo)腔體共振激發(fā)的等離子體行為模擬研究，研制國(guó)產(chǎn)大功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MPCVD）；

       2）研制國(guó)產(chǎn)大功率微波發(fā)生器及其輔助設(shè)備，提高設(shè)備的運(yùn)行效率；

       3）通過(guò)仿真與工藝實(shí)驗(yàn)優(yōu)化，攻關(guān)大面積金剛石襯底的高速、高質(zhì)量與高均勻性的生長(zhǎng)難題，制備高質(zhì)量大尺寸單晶金剛石襯底。

       考核指標(biāo)：

       1）研制出國(guó)產(chǎn) 30kW 大功率 2.45 GHz 的頻率發(fā)生設(shè)備，能量幅值波動(dòng)小于 5%，頻率穩(wěn)定度在 1%；

       2）研制出國(guó)產(chǎn) 30kW 微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，實(shí)現(xiàn)大于 50 μm/h 的金剛石生長(zhǎng)速率，其 N、Si 等雜質(zhì)的含量接近或低于金剛石光致發(fā)光光譜的檢測(cè)限；

       3）制備 2 英寸的單晶金剛石襯底，其（400）晶面的 XRD 搖擺曲線半高寬小于 50 弧秒，金剛石的一階拉曼位移半高寬小于4cm-1；

       4）以上指標(biāo)通過(guò)具有國(guó)家認(rèn)證資質(zhì)的第三方測(cè)試機(jī)構(gòu)測(cè)試；

       5）設(shè)備平均故障間隔時(shí)間（MTBF）＞5000 小時(shí)；

       6）申請(qǐng)發(fā)明專利 10 件，圍繞項(xiàng)目形成的創(chuàng)新成果發(fā)表高水平論文。

       支持方式與強(qiáng)度：無(wú)償資助，每項(xiàng)不超過(guò)2500 萬(wàn)元。

廣東省科學(xué)技術(shù)廳關(guān)于組織申報(bào)2019年度廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃“第三代半導(dǎo)體材料與器件”重大專項(xiàng)項(xiàng)目的通知

       省直有關(guān)部門(mén)、各地級(jí)以上市科技局（委）、各有關(guān)單位：

　　根據(jù)《廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃實(shí)施方案》，現(xiàn)啟動(dòng)2019年度廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃“第三代半導(dǎo)體材料與器件”重大專項(xiàng)項(xiàng)目申報(bào)工作（申報(bào)指南見(jiàn)附件1）。有關(guān)事項(xiàng)通知如下：

　　一、申報(bào)要求

　?。ㄒ唬?項(xiàng)目申報(bào)單位（包括科研院所、高校、企業(yè)、其他事業(yè)單位和行業(yè)組織等）應(yīng)注重產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、整合省內(nèi)外優(yōu)勢(shì)資源。申報(bào)單位為省外地區(qū)的，項(xiàng)目評(píng)審與廣東省內(nèi)單位平等對(duì)待，港澳地區(qū)高校院所按照《廣東省科學(xué)技術(shù)廳廣東省財(cái)政廳關(guān)于香港特別行政區(qū)、澳門(mén)特別行政區(qū)高等院校和科研機(jī)構(gòu)參與廣東省財(cái)政科技計(jì)劃（專項(xiàng)、基金等）組織實(shí)施的若干規(guī)定（試行）》（粵科規(guī)范字〔2019〕1號(hào)）文件精神納入相應(yīng)范圍。

　　省外單位牽頭申報(bào)的，經(jīng)競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審，擇優(yōu)納入科技計(jì)劃項(xiàng)目庫(kù)管理。入庫(kù)項(xiàng)目在滿足科研機(jī)構(gòu)、科研活動(dòng)、主要團(tuán)隊(duì)到廣東落地，且項(xiàng)目知識(shí)產(chǎn)權(quán)在廣東申報(bào)、項(xiàng)目成果在廣東轉(zhuǎn)化等條件后，給予立項(xiàng)支持。

　　（二） 堅(jiān)持需求導(dǎo)向和應(yīng)用導(dǎo)向。鼓勵(lì)企業(yè)牽頭申報(bào)，牽頭企業(yè)原則上應(yīng)為高新技術(shù)企業(yè)或龍頭骨干企業(yè)，建有研發(fā)機(jī)構(gòu)，在本領(lǐng)域擁有國(guó)家級(jí)、省部級(jí)重大創(chuàng)新平臺(tái)，且以本領(lǐng)域領(lǐng)軍人物作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。鼓勵(lì)加大配套資金投入，企業(yè)牽頭申報(bào)的，項(xiàng)目總投入中自籌經(jīng)費(fèi)原則上不少于70%；非企業(yè)牽頭申報(bào)的，項(xiàng)目總投入中自籌經(jīng)費(fèi)原則上不少于50%（自籌經(jīng)費(fèi)主要由參與申報(bào)的企業(yè)出資）。

　　（三） 省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃申報(bào)單位總體不受在研項(xiàng)目數(shù)的限項(xiàng)申報(bào)約束，項(xiàng)目應(yīng)依托在該領(lǐng)域具有顯著優(yōu)勢(shì)的單位，加強(qiáng)資源統(tǒng)籌和要素整合，集中力量開(kāi)展技術(shù)攻關(guān)。不鼓勵(lì)同一單位或同一研究團(tuán)隊(duì)分散力量、在同一專項(xiàng)中既牽頭又參與多個(gè)項(xiàng)目申報(bào)，否則納入科研誠(chéng)信記錄并進(jìn)行相應(yīng)處理。

　?。ㄋ模?項(xiàng)目負(fù)責(zé)人應(yīng)起到統(tǒng)籌領(lǐng)導(dǎo)作用，能實(shí)質(zhì)性參與項(xiàng)目的組織實(shí)施，防止出現(xiàn)拉本領(lǐng)域高端知名專家掛名現(xiàn)象。

　?。ㄎ澹?項(xiàng)目?jī)?nèi)容須真實(shí)可信，不得夸大自身實(shí)力與技術(shù)、經(jīng)濟(jì)指標(biāo)。各申報(bào)單位須對(duì)申報(bào)材料的真實(shí)性負(fù)責(zé)，要落實(shí)《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)科研誠(chéng)信建設(shè)的若干意見(jiàn)》（廳字〔2018〕23號(hào)）要求，加強(qiáng)對(duì)申報(bào)材料審核把關(guān)，杜絕夸大不實(shí)，甚至弄虛作假。各申報(bào)單位、項(xiàng)目負(fù)責(zé)人須簽署《申報(bào)材料真實(shí)性承諾函》（模板可在陽(yáng)光政務(wù)平臺(tái)系統(tǒng)下載，須加蓋單位公章）。項(xiàng)目一經(jīng)立項(xiàng)，技術(shù)、產(chǎn)品、經(jīng)濟(jì)等考核指標(biāo)無(wú)正當(dāng)理由不予修改調(diào)整。

　?。?申報(bào)單位應(yīng)認(rèn)真做好經(jīng)費(fèi)預(yù)算，按實(shí)申報(bào)，且應(yīng)符合申報(bào)指南有關(guān)要求。牽頭承擔(dān)單位原則上應(yīng)承擔(dān)項(xiàng)目的核心研究任務(wù)，分配最大份額的項(xiàng)目資金。項(xiàng)目研究成果須在廣東轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化。

　?。ㄆ撸?有以下情形之一的項(xiàng)目負(fù)責(zé)人或申報(bào)單位不得進(jìn)行申報(bào)或通過(guò)資格審查：

       1.項(xiàng)目負(fù)責(zé)人有廣東省級(jí)科技計(jì)劃項(xiàng)目3項(xiàng)以上（含3項(xiàng)）未完成結(jié)題或有項(xiàng)目逾期一年未結(jié)題（平臺(tái)類(lèi)、普惠性政策類(lèi)、后補(bǔ)助類(lèi)項(xiàng)目除外）；

       2.項(xiàng)目負(fù)責(zé)人有在研廣東省重大科技專項(xiàng)項(xiàng)目、重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目未完成驗(yàn)收結(jié)題（此類(lèi)情形下該負(fù)責(zé)人還可作為項(xiàng)目組成員參與項(xiàng)目申報(bào)）；

       3.在省級(jí)財(cái)政專項(xiàng)資金審計(jì)、檢查過(guò)程中發(fā)現(xiàn)重大違規(guī)行為；

       4.同一項(xiàng)目通過(guò)變換課題名稱等方式進(jìn)行多頭或重復(fù)申報(bào)；

       5.項(xiàng)目主要內(nèi)容已由該單位單獨(dú)或聯(lián)合其他單位申報(bào)并已獲得省科技計(jì)劃立項(xiàng)；

       6.省內(nèi)單位項(xiàng)目未經(jīng)科技主管部門(mén)組織推薦；

       7.有尚在懲戒執(zhí)行期內(nèi)的科研嚴(yán)重失信行為記錄和相關(guān)社會(huì)領(lǐng)域信用“黑名單”記錄；

       8.違背科研倫理道德。

　　（八） 申報(bào)項(xiàng)目還須符合申報(bào)指南各專題方向的具體申報(bào)條件。

　　二、申報(bào)方式

　　符合指南申報(bào)條件的單位通過(guò)“廣東省政務(wù)服務(wù)網(wǎng)”或“廣東省科技業(yè)務(wù)管理陽(yáng)光政務(wù)平臺(tái)（http：//pro.gdstc.gov.cn）”提交有關(guān)材料進(jìn)行申報(bào)。項(xiàng)目申報(bào)采用在線申報(bào)、無(wú)紙化方式，必要的技術(shù)、財(cái)務(wù)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、合作協(xié)議、承諾函等佐證支撐材料請(qǐng)以附件形式上傳。申報(bào)材料不宜通過(guò)網(wǎng)絡(luò)形式提交的，由申報(bào)單位提出書(shū)面申請(qǐng)，報(bào)省科技廳同意后可走線下申報(bào)。

　　項(xiàng)目評(píng)審評(píng)估過(guò)程須提供的補(bǔ)充材料由第三方專業(yè)機(jī)構(gòu)另行通知提交。項(xiàng)目按程序立項(xiàng)后，項(xiàng)目申報(bào)書(shū)、任務(wù)書(shū)紙質(zhì)件再一并報(bào)送至省科技廳綜合業(yè)務(wù)辦理大廳（均需簽名、蓋章，提交時(shí)間及具體要求另行通知）。

　　三、評(píng)審及立項(xiàng)說(shuō)明

　　省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目由第三方專業(yè)機(jī)構(gòu)組織評(píng)審，對(duì)申報(bào)項(xiàng)目的背景、依據(jù)、技術(shù)路線、科研能力、時(shí)間進(jìn)度、經(jīng)費(fèi)預(yù)算、績(jī)效目標(biāo)等進(jìn)行評(píng)審論證，并進(jìn)行技術(shù)就緒度和知識(shí)產(chǎn)權(quán)等專業(yè)化評(píng)估：

　　（一） 技術(shù)就緒度與先進(jìn)性評(píng)估。本專項(xiàng)主要支持技術(shù)就緒度4～7級(jí)的項(xiàng)目，其中，技術(shù)就緒度目前為4～6級(jí)的項(xiàng)目在完成后原則上應(yīng)有3級(jí)以上提高，目前為7級(jí)的項(xiàng)目在完成后應(yīng)達(dá)到9級(jí)（技術(shù)就緒度評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)及細(xì)則見(jiàn)附件2），各申報(bào)單位應(yīng)在可行性報(bào)告中按要求對(duì)此進(jìn)行闡述并提供必要的佐證支撐材料（可行性報(bào)告提綱可在陽(yáng)光政務(wù)平臺(tái)系統(tǒng)下載）。

　　（二） 查重及技術(shù)先進(jìn)性分析。將利用大數(shù)據(jù)分析技術(shù)，對(duì)照國(guó)家科技部科技計(jì)劃歷年資助項(xiàng)目與廣東省科技計(jì)劃歷年資助項(xiàng)目，對(duì)擬立項(xiàng)項(xiàng)目進(jìn)行查重和先進(jìn)性等分析。

　?。ㄈ?知識(shí)產(chǎn)權(quán)分析評(píng)議。項(xiàng)目研究成果一般應(yīng)有高質(zhì)量的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，請(qǐng)各申報(bào)單位按照高質(zhì)量知識(shí)產(chǎn)權(quán)分析評(píng)議指引（見(jiàn)附件3）的有關(guān)要求加強(qiáng)本單位知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理，提出項(xiàng)目的高質(zhì)量知識(shí)產(chǎn)權(quán)目標(biāo)，并在可行性報(bào)告中按要求對(duì)此進(jìn)行闡述并提供必要的佐證支撐材料（可行性報(bào)告提綱可在陽(yáng)光政務(wù)平臺(tái)系統(tǒng)下載），勿簡(jiǎn)單以專利數(shù)量、論文數(shù)量作為項(xiàng)目目標(biāo)。

　　擬立項(xiàng)項(xiàng)目經(jīng)領(lǐng)域?qū)＜液蛻?zhàn)略咨詢專家審議，并按程序報(bào)批后納入項(xiàng)目庫(kù)管理，按年度財(cái)政預(yù)算及項(xiàng)目落地情況分批出庫(kù)支持，視項(xiàng)目進(jìn)展分階段進(jìn)行資金撥付。

　　同一指南中的同一項(xiàng)目方向（或子方向），原則上只支持1項(xiàng)（指南有特殊說(shuō)明的除外），在申報(bào)項(xiàng)目評(píng)審結(jié)果相近且技術(shù)路線明顯不同時(shí)，可予以并行支持。

　　四、申報(bào)時(shí)間

　　申報(bào)單位網(wǎng)上集中申報(bào)時(shí)間為2019年9月 19日～10月14 日18:00，主管部門(mén)網(wǎng)上審核推薦截止時(shí)間為2019年10月21日18:00。

　　五、聯(lián)系人及電話
       1.高新技術(shù)處（專題業(yè)務(wù)咨詢）：張志彤，020-83163387

       2.業(yè)務(wù)受理及技術(shù)支持：020-83163930、83163338

       3.資源配置與管理處（綜合性業(yè)務(wù)咨詢）：司圣奇　020-83163838