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摘要 綜合多方消息，日本TOP精工（TOPSEIKO）是一家頗受好評(píng)、專(zhuān)門(mén)切削“既硬又脆”難加工材料的企業(yè)，該公司加工的材料包括氧化鋁（Al2O3）、碳化硅（Si...
綜合多方消息，日本TOP精工（TOP SEIKO）是一家頗受好評(píng)、專(zhuān)門(mén)切削“既硬又脆”難加工材料的企業(yè)，該公司加工的材料包括氧化鋁（Al2O3）、碳化硅（SiC）等陶瓷材料，以及金屬中比較硬又很脆的純鎢（W）及純鉬（Mo）等材料。該公司加工的量產(chǎn)品方面，陶瓷類(lèi)有用于半導(dǎo)體制造裝置的晶圓吸附板，及用于CVD（化學(xué)氣相沉積）裝置的簇射極板等，金屬類(lèi)有處理輻射和X光的工業(yè)用和醫(yī)用檢查裝置的金屬零部件等。該公司能在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)難加工材料的高精度加工。
例如，TOP精工加工用于半導(dǎo)體制造裝置的SiC吸附板是直徑290mm、厚10mm的圓盤(pán)狀部件，表面有10條同心圓形狀的溝槽（寬1mm）。而且，SiC的維氏硬度非常高，是Al2O3的1.3倍。用加工中心（MC）切削這么難切削的材料時(shí)，一般會(huì)使用在超硬合金上涂有金剛石的極細(xì)高剛性鉆頭。這種極細(xì)鉆頭雖然剛性很高，但不耐用。因此，TOP精工研究出了既可使刀具經(jīng)久耐用又能在短時(shí)間內(nèi)切削出溝槽的方法，關(guān)鍵在于自制工具。該公司自制了有開(kāi)孔的圓盤(pán)狀部件的底部配備兩個(gè)長(zhǎng)方形（寬度為800μm）金剛石片的刀具。使這種刀具在MC上旋轉(zhuǎn)，就能在工件上切削出圓形溝槽。
除陶瓷外，TOP精工還加工W、Mo等金屬。在這些金屬加工中，也經(jīng)常采用不同尋常的方法，比如，在用棒料進(jìn)給器向NC車(chē)床供應(yīng)Mo棒的同時(shí)，一次以數(shù)百個(gè)為單位加工，實(shí)現(xiàn)這樣的加工靠的是自制刀具，通過(guò)延長(zhǎng)刀具壽命實(shí)現(xiàn)了Mo工件40～50小時(shí)的無(wú)人加工。此外還有不用卡盤(pán)夾住W板材、而用粘合劑將其固定在夾具上加工的方法，這種方法可以不剩下卡盤(pán)夾持的部分，將整個(gè)板材當(dāng)做母材使用。
據(jù)介紹，TOP精工能在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高難度加工作業(yè)，除了該公司積累了12年的加工經(jīng)驗(yàn)外，在遇到很難的加工作業(yè)時(shí)，通常都是經(jīng)營(yíng)者與現(xiàn)場(chǎng)所有工作人員一起反復(fù)嘗試“循環(huán)”。這個(gè)循環(huán)就是：第一，觀察加工前、中、后的現(xiàn)象；第二，根據(jù)觀察的結(jié)果做出假設(shè)；第三，通過(guò)實(shí)際加工驗(yàn)證假設(shè)。通過(guò)反復(fù)觀察、反復(fù)試驗(yàn)，使得該公司能創(chuàng)造出一些有悖于常識(shí)的加工方法。
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