真空鍍膜技術(shù)是一種新穎的材料合成與加工的新技術(shù),是表面工程技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分。真空鍍膜技術(shù)是利用物理、化學(xué)手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜,從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導(dǎo)電、導(dǎo) 磁、絕緣和裝飾等許多優(yōu)于固體材料本身的優(yōu)越性能,達(dá)到提高產(chǎn)品質(zhì)量、延長(zhǎng)產(chǎn)品壽命、節(jié)約能源和獲得顯著技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益的作用。因此真空鍍膜技術(shù)被譽(yù)為最具發(fā)展前途的重要技術(shù)之一 ,并已在高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展中展現(xiàn)出誘人的市場(chǎng)前景。這種新興的真空鍍膜技術(shù)已在國(guó)民經(jīng)濟(jì)各個(gè)領(lǐng)域得到應(yīng)用,如航空、航天、電子、信息、機(jī)械、石油、化工、環(huán)保、軍事等領(lǐng)域。
我研究所從上世紀(jì)80年代開(kāi)始從事真空鍍膜技術(shù)的研究開(kāi)發(fā),完成了大量科研項(xiàng)目,取得了一批科研成果,如:"陰極電弧鍍技術(shù)制備TiN裝飾膜、超硬膜及其應(yīng)用"獲中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司科技進(jìn)步二等獎(jiǎng);"金剛石鍍膜制備技術(shù)"獲中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司科技進(jìn)步二等獎(jiǎng);"金剛石涂層刀具研究"獲國(guó)家有色工業(yè)局科技進(jìn)步三等獎(jiǎng);"類(lèi)金剛石鍍膜制備技術(shù)及其應(yīng)用"獲中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司科技二等獎(jiǎng)。
本研究所多年來(lái)形成了從陰極電弧鍍、磁控濺射、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、熱絲化學(xué)氣相沉積、直流等離子體化學(xué)氣相沉積等技術(shù)為代表的真空鍍膜技術(shù),可制備TiN、TiC、TiCN、TiAIN、DLC(類(lèi)金剛石)、金剛石、透明Al2O3、Cu、Ag等多種金屬及化合物涂層及其多層復(fù)合涂層,可廣泛應(yīng)用于工具、模具、耐磨、耐腐蝕及裝飾等領(lǐng)域。