伴隨著大噸位六面頂液壓機在行業(yè)內(nèi)成為主流設(shè)備,38、40等不同規(guī)格大腔體合成工藝已進入推廣應用階段,與28、30等小腔體工藝不同,腔體的增大改變了合成腔內(nèi)壓力、溫度場的狀態(tài),怎樣優(yōu)化壓力和溫度控制模式,充分發(fā)揮大腔體的優(yōu)勢,已成為各金剛石廠的首要課題;而作為設(shè)備制造商,在提供大噸位主機的同時,如何提供配套合理的電液控制系統(tǒng),也是面臨的重要任務。
本文試就合成腔的壓力、溫度場進行分析,結(jié)合當前通用的幾種控制模式進行對比,提出符合大腔體合成工藝要求的六面頂液壓機整體解決方案。
1.壓力控制
合成腔體的擴大,必然使因傳壓損失而形成的合成棒外殼與芯部的壓力差加大,即壓力場的壓力梯度加大;同時,金剛石的生長過程也導致壓力場的變化:眾所周知,高溫高壓下以葉臘石為傳壓介質(zhì)的石墨轉(zhuǎn)化為金剛石過程中包含一系列的相變過程:葉臘石礦物相變產(chǎn)生藍晶石和柯石英、石墨相變產(chǎn)生金剛石,由于這些相變的產(chǎn)物比重大,產(chǎn)生相變前后的體積收縮,造成合成腔內(nèi)部壓力下降;而且,由于葉臘石在相變后因摩擦系數(shù)和強度均增大而呈剛性,影響了傳壓和補壓的效果,這些都造成腔體內(nèi)更大的壓力梯度,而優(yōu)質(zhì)金剛石單晶的生長需要相對穩(wěn)定的壓力條件,因此,如何更好的降低壓力梯度,是大腔體工藝面臨的挑戰(zhàn)。
公知的理想壓力控制模式可按下圖1所示:
1)升壓曲線可控,這樣可以配合加熱曲線有效控制壓力梯度
2)保壓階段壓力曲線遞增,減小因合成相變造成的傳壓梯度增大
3)卸壓速度可控,兼顧高低壓時卸壓速度的不同要求
目前,有以下幾種壓力控制模式在應用:
1.1傳統(tǒng)的壓力控制模式
此模式下壓力波動較大,完全是一種粗放型的控制模式,不適于大腔體合成工藝。如圖2所示。
.2 變頻保壓控制模式
此模式保持了保壓階段壓力的恒定,但忽視了對合成相變導致的壓力梯度進行補償。如圖3所示。
1.3 被動的遞增補壓模式
如圖4所示。此為原始的遞增補壓模式,通過設(shè)定保壓壓力降至設(shè)定值,按設(shè)定增量補壓,為被動式。實際上在保壓階段,壓機補壓次數(shù)是有限的,且與壓機高壓密封的失效相關(guān),因此并沒有真正實現(xiàn)通過遞增補壓來彌補壓力梯度的目的。
1.4 主動的遞增保壓模式
如圖5所示。通過設(shè)定壓力增量和時間間隔(補壓次數(shù)),來實現(xiàn)遞增補壓,因此為主動的遞增補壓模式。采用變頻保壓的形式可以控制每個設(shè)定時間間隔內(nèi)的壓力降為最小。不過,由于壓機保壓性能一般均較好,因此在設(shè)定時間間隔內(nèi)的壓力降可以忽略不計。
1.5 采用比例閥的壓力控制模式
比例閥的原理是通過按設(shè)定曲線控制電流或電壓,從而按比例連續(xù)的控制比例電磁鐵的推力和位移量,達到控制系統(tǒng)的壓力和流量的目的。在系統(tǒng)中采用比例壓力閥或比例泵,不僅能在保壓階段實現(xiàn)系統(tǒng)壓力連續(xù)遞增,并且也能實現(xiàn)在升壓階段的升壓速度連續(xù)可控,即實現(xiàn)了壓力的全程曲線控制??梢哉f,這是最可能接近理想的控制模式,如圖6所示。
2.溫度控制
合成腔內(nèi)溫度場的建立是通過直流電加熱實現(xiàn)的,無論是控制電流還是電壓,最終還是以加熱功率的變化來實現(xiàn)溫升。由于熱量是靠合成料棒電阻自發(fā)熱產(chǎn)生,即便是石墨襯管等的輔助措施也僅起到了保溫的作用,因此,其溫度梯度因散熱而生,溫度應為自棒芯向外遞減,并且這種溫差在加熱與散熱條件不變的情況下,應與合成棒直徑大小無關(guān)?;谶@種推理,合成腔體的擴大,提供了一個可以形成更均衡與穩(wěn)定的溫度場的客觀條件,或者說,在大腔體中符合優(yōu)質(zhì)金剛石生長所需溫度條件的空間比例將更大。
合成腔溫度的變化受兩種因素影響:其一是加熱,其二是散熱。
目前,以加熱功率控制為基礎(chǔ)的控制模式有兩種:
其一為恒功率模式,加熱功率處于一種恒定狀態(tài),如圖7所示,相應的加熱量曲線如圖8:隨著時間的延長,加熱量正比例增加;
其二為變功率模式,加熱功率可根據(jù)設(shè)定曲線變化,如圖9所示,相應的加熱曲線如圖10:隨著時間的延長,加熱量非正比例增加。
隨著加熱曲線的變化,存在著散熱曲線,在自由加熱和散熱地情況下,兩條曲線必然相交,即存在加熱與散熱的平衡點:此點以后的時間內(nèi),熱量不在增加,也不減少,處于一種保溫狀態(tài)。如圖11所示。
在合成實際生產(chǎn)中,常出現(xiàn)合成棒芯部與外部溫差大影響金剛石生長的現(xiàn)象,這種保溫狀態(tài)的出現(xiàn)將消除這種溫差。
通過適時、適量的調(diào)整加熱功率,可能使在合成周期內(nèi)出現(xiàn)或接近這一平衡點,而只有具備變加熱量輸出功能的電控系統(tǒng)才提供了這種條件。
3.結(jié)束語
綜合上述分析與對比,提供符合大腔體中優(yōu)質(zhì)金剛石單晶生長的溫度、壓力條件的六面頂液壓機,至少應具備如下功能:
1)具備主動的遞增保壓功能,以有效降低壓力梯度,其中采用比例閥控制的控壓模式是較為理想的液壓控制系統(tǒng)。
2)電加熱系統(tǒng)具有寬幅的變加熱量輸出功能,為調(diào)整保溫狀態(tài)的出現(xiàn)提供條件。
3)具有至少1800T的合成噸位,以滿足40腔體合成工藝的壓力條件,畢竟大腔體天生的溫度場優(yōu)勢是小腔體所無法比擬的。