類金剛石與金剛石復(fù)合膜作新型光學(xué)增透膜
關(guān)鍵詞 類金剛石 , 金剛石復(fù)合膜 , 新型光學(xué)增透膜 |2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱類金剛石與金剛石復(fù)合膜作新型光學(xué)增透膜公開號1188160公開日1998.07.22主分類號C23C16/26&nb
名稱 |
類金剛石與金剛石復(fù)合膜作新型光學(xué)增透膜 |
公開號 |
1188160 |
公開日 |
1998.07.22 |
主分類號 |
C23C16/26 |
分類號 |
C23C16/26 |
申請?zhí)?/strong> |
97106741.4 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
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申請日 |
1997.11.24 |
頒證日 |
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優(yōu)先權(quán) |
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申請人 |
上海大學(xué) |
地址 |
201800上海市嘉定區(qū)城中路20號 |
發(fā)明人 |
夏義本; 居建華; 史偉民; 莫要武; 安其霖; 王鴻 |
國際申請 |
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國際公布 |
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進(jìn)入國家日期 |
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專利代理機(jī)構(gòu) |
上海高校專利事務(wù)所 |
代理人 |
張建成 |
摘要 |
金剛石復(fù)合膜是屬于薄膜技術(shù)領(lǐng)域,它是以高頻等離子體法制成的類金剛石膜上再以微波等離子體法化學(xué)氣相沉積而成。涂覆于硅太陽能電池及紅外探測器上,具有光學(xué)增透效應(yīng)。本發(fā)明解決了此類光電器件的光電轉(zhuǎn)換效應(yīng)及光透性差的問題,且又有更佳的鈍化作用,尤其使硅太陽能電池光譜響應(yīng)波長范圍拉寬,增透率為40%理論值接近,用于紅外探測器特別Hgde器件上解決了光透材料,使平均透過率提高。 |
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