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官方微信摘要 名稱一種高速氣相生長(zhǎng)金剛石的方法公開(kāi)號(hào)1159491公開(kāi)日1997.09.17主分類號(hào)C30B25/00
| 名稱 | 一種高速氣相生長(zhǎng)金剛石的方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1159491 | 公開(kāi)日 | 1997.09.17 |
| 主分類號(hào) | C30B25/00 | 分類號(hào) | C30B25/00;C30B29/04 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 96115136.6 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1996.03.07 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 中國(guó)科學(xué)院金屬研究所 | 地址 | 110015遼寧省沈陽(yáng)市沈河區(qū)文化路72號(hào) |
| 發(fā)明人 | 聞立時(shí); 黃榮芳; 于杰; 陳廣超 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)專利事務(wù)所 | 代理人 | 張晨 |
| 摘要 | 一種高速氣相生長(zhǎng)金剛石的方法，采用熱絲化學(xué)氣相沉積技術(shù)，其特征在于：反應(yīng)全流程在封閉空間內(nèi)進(jìn)行，反應(yīng)氣均勻地通過(guò)反應(yīng)區(qū)，氣體質(zhì)量流量通量為１００—２００SCCM/cm#+[2]，反應(yīng)區(qū)溫度保持在２０００—２６００℃，反應(yīng)后氣體及時(shí)排出。本發(fā)明可以在較大面積上，高速生長(zhǎng)高質(zhì)量金剛石。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)