采用金剛石涂層的模制場致發(fā)射電子發(fā)射極及其制造方法
關(guān)鍵詞 金剛石涂層 , 發(fā)射電子 , 制造|2010-12-09 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱采用金剛石涂層的模制場致發(fā)射電子發(fā)射極及其制造方法公開號1069827公開日1993.03.10主分類號H0
名稱 |
采用金剛石涂層的模制場致發(fā)射電子發(fā)射極及其制造方法 |
公開號 |
1069827 |
公開日 |
1993.03.10 |
主分類號 |
H01J1/30 |
分類號 |
H01J1/30;H01J9/02 |
申請?zhí)?/strong> |
92105475.0 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
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申請日 |
1992.07.06 |
頒證日 |
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優(yōu)先權(quán) |
[32]1991.8.20[33]US[31]07/747,562 |
申請人 |
莫托羅拉公司 |
地址 |
美國伊利諾斯 |
發(fā)明人 |
羅伯特·C·凱恩; 詹姆斯·E·賈斯基 |
國際申請 |
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國際公布 |
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進入國家日期 |
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專利代理機構(gòu) |
中國國際貿(mào)易促進委員會專利代理部 |
代理人 |
鄒光新 |
摘要 |
置于導(dǎo)電/半導(dǎo)電材料層(407)表面的利用金剛石材料涂層(406)的場致發(fā)射電子發(fā)射極由包括以下步驟的方法構(gòu)成:在經(jīng)選擇成型的襯底(401)的表面注入碳離子(404),對形成金剛石晶體來說起集結(jié)區(qū)的作用。在金剛石(406)上淀積導(dǎo)電層(407),并去除襯底(401),留下具有金剛石涂層的電子發(fā)射極。 |
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