名稱(chēng) | 采用金剛石涂層的模制場(chǎng)致發(fā)射電子發(fā)射極及其制造方法 | ||
公開(kāi)號(hào) | 1069827 | 公開(kāi)日 | 1993.03.10 |
主分類(lèi)號(hào) | H01J1/30 | 分類(lèi)號(hào) | H01J1/30;H01J9/02 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 92105475.0 | ||
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1992.07.06 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1991.8.20[33]US[31]07/747,562 | |
申請(qǐng)人 | 莫托羅拉公司 | 地址 | 美國(guó)伊利諾斯 |
發(fā)明人 | 羅伯特·C·凱恩; 詹姆斯·E·賈斯基 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利代理部 | 代理人 | 鄒光新 |
摘要 | 置于導(dǎo)電/半導(dǎo)電材料層(407)表面的利用金剛石材料涂層(406)的場(chǎng)致發(fā)射電子發(fā)射極由包括以下步驟的方法構(gòu)成:在經(jīng)選擇成型的襯底(401)的表面注入碳離子(404),對(duì)形成金剛石晶體來(lái)說(shuō)起集結(jié)區(qū)的作用。在金剛石(406)上淀積導(dǎo)電層(407),并去除襯底(401),留下具有金剛石涂層的電子發(fā)射極。 |