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采用金剛石涂層的模制場致發(fā)射電子發(fā)射極及其制造方法

關(guān)鍵詞 金剛石涂層 , 發(fā)射電子 , 制造|2010-12-09 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱采用金剛石涂層的模制場致發(fā)射電子發(fā)射極及其制造方法公開號1069827公開日1993.03.10主分類號H0

 

名稱 采用金剛石涂層的模制場致發(fā)射電子發(fā)射極及其制造方法 
公開號 1069827    公開日 1993.03.10   
主分類號 H01J1/30  分類號 H01J1/30;H01J9/02 
申請?zhí)?/strong> 92105475.0   
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 1992.07.06   
頒證日   優(yōu)先權(quán) [32]1991.8.20[33]US[31]07/747,562 
申請人 莫托羅拉公司    地址 美國伊利諾斯  
發(fā)明人 羅伯特·C·凱恩; 詹姆斯·E·賈斯基  國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構(gòu) 中國國際貿(mào)易促進委員會專利代理部    代理人 鄒光新   
摘要   置于導(dǎo)電/半導(dǎo)電材料層(407)表面的利用金剛石材料涂層(406)的場致發(fā)射電子發(fā)射極由包括以下步驟的方法構(gòu)成:在經(jīng)選擇成型的襯底(401)的表面注入碳離子(404),對形成金剛石晶體來說起集結(jié)區(qū)的作用。在金剛石(406)上淀積導(dǎo)電層(407),并去除襯底(401),留下具有金剛石涂層的電子發(fā)射極。
 

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