申請?zhí)枺?01710557953.1
       申請人：楊凌美暢新材料有限公司
       發(fā)明人：曲東升 王新平 曹民博

       摘要： 本發(fā)明提供了本發(fā)明提供一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，包括以下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述切割由切割機架帶動硅棒向電鍍金剛線網(wǎng)移動，同時主輥帶動電鍍金剛線網(wǎng)作往復運動實現(xiàn)切割，切割過程中，電鍍金剛線的線速度為1300?1500m/min，工件切割速度為1?4.5mm/min，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒鍍層厚度為3?5um，切割過程中，電鍍金剛線采用先正向進給后反向進給的方式，每個工件開始加工時，先向收線輪進給3?5km電鍍金剛線。采用本發(fā)明切割方法能夠在1h以內(nèi)完成對8.4inch、650mm晶體硅棒的順利切割，解決了現(xiàn)有技術(shù)中電鍍金剛線切割硅片效率低的問題。        主權(quán)利要求：1.一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，包括如下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述步驟（1）粘棒：將燕尾與樹脂板、樹脂板與硅棒用粘膠粘接；所述步驟（2）上料：將步驟（1）中粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機；所述步驟（3）配制切割液：將切割液、消泡劑、水按照質(zhì)量比為1∶1∶200～1∶0.5∶350混合均勻后，倒入切割液缸中；所述步驟（4）切割：所述切割由切割機架帶動硅棒向電鍍金剛線網(wǎng)移動，同時主輥帶動電鍍金剛線網(wǎng)作往復運動實現(xiàn)切割，切割過程中，電鍍金剛線的線速度為1300-1500m/min，工件切割速度為1-4.5mm/min，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒鍍層厚度為3-5um，切割過程中，電鍍金剛線采用先正向進給后反向進給的方式，每個工件開始加工時，先向收線輪進給3-5km電鍍金剛線。
       2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線上金剛石鍍層厚度為2-4um。
       3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述工件切割速度分為三部分：進刀切割速度為1.5-3.5mm/min，主切割速度為3-4.5mm/min，出刀切割速度為1.0-1.5mm/min。
       4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述工件切割速度分為三部分：進刀切割速度為1.5mm/min；主切割速度為3mm/min；出刀切割速度為1.5mm/min。
       5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述先正向進給后反向進給的方式為電鍍金剛線以往復切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，當電鍍金剛線切入工件位置100~140mm后，電鍍金剛線又以往復切割方式從主輥的末端向著頭端行走，所述每個往復過程電鍍金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進，所述正向進給所需電鍍金剛線總量≥反向進給所需電鍍金剛線總量。
       6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，正向進給切割時，新線供給量90-120m/min，每個循環(huán)中新線供給600-700m，舊線返回500-600m。
       7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，反向進給切割時，舊線供給量130-200m/min，每個循環(huán)中新線供給500-700m，舊線返回700-850m。
       8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，正向進給切割與反向進給切割交接的切深位置按照程序切割位置劃分，位置選為切割深度100-140mm，所述程序切割位置是指總的切割深度，為161-168mm。
       9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述步驟（4）切割過程中，切割設(shè)備中采用直徑為70-80um的電鍍金剛線作為切割線，電鍍金剛線的破斷張力為16-23N，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度300-450顆/mm，金剛石顆粒直徑為5-16um，金剛石顆粒出刃高度為4-7um，切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為11-14N，切割液溫度為18-20℃。
       10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，其特征在于，所述步驟（6）中脫膠是將切割后的硅片浸泡在熱水或草酸或乳酸溶液中進行脫膠。