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一種基于孕鑲金剛石原位沉積生長金剛石涂層的工藝方法

關(guān)鍵詞 孕鑲金剛石 , 金剛石涂層|2017-07-19 08:53:55|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 申請?zhí)枺?01710120268.2申請人:同濟(jì)大學(xué)發(fā)明人:簡小剛黃卓甘熠華 
       申請?zhí)枺?01710120268.2
       申請人:同濟(jì)大學(xué)
       發(fā)明人:簡小剛 黃卓 甘熠華

       摘要: 本發(fā)明涉及一種基于孕鑲金剛石原位沉積生長金剛石涂層的工藝方法,包括以下步驟:(1)酸洗:取孕鑲金剛石基體置于酸溶液中,酸洗,腐蝕除去表面的Co;(2)超聲清洗:取酸洗后的孕鑲金剛石基體,置于金剛石微粉的懸浮液中,超聲處理;(3)氫等離子體刻蝕:再將酸洗和超聲清洗后孕鑲金剛石基體放入化學(xué)氣相沉積設(shè)備中,通入氫氣,進(jìn)行等離子體刻蝕;(4)原位沉積生長金剛石涂層:刻蝕完成后,通入CH4氣體,原位沉積,冷卻,即完成。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明利用化學(xué)氣相法在孕鑲金剛石表面沉積金剛石涂層,同時(shí),通過特殊預(yù)處理工藝得到的自然過渡層提高了金剛石涂層與孕鑲金剛石基體之間的結(jié)合力,提高了孕鑲金剛石的耐磨性和使用壽命。
       主權(quán)利要求:1.一種基于孕鑲金剛石原位沉積生長金剛石涂層的工藝方法,其特征在于,包括以下步驟:(1)酸洗取孕鑲金剛石基體置于酸溶液中,酸洗,腐蝕除去表面的Co;(2)超聲清洗取酸洗后的孕鑲金剛石基體,置于金剛石微粉的懸浮液中,超聲處理;(3)氫等離子體刻蝕再將酸洗和超聲清洗后孕鑲金剛石基體放入化學(xué)氣相沉積設(shè)備中,通入氫氣,進(jìn)行等離子體刻蝕;(4)原位沉積生長金剛石涂層刻蝕完成后,繼續(xù)通入氫氣,并同時(shí)通入CH4氣體,原位沉積,冷卻,即得到表面生長有金剛石涂層的孕鑲金剛石。 
 

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