申請(qǐng)?zhí)枺?01610685787.9
　　申請(qǐng)人：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
　　發(fā)明人：白清順 余天凱 王永旭 杜云龍 張慶春 劉亞忠

　　摘要：微刀具表面熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石涂層的電極系統(tǒng)，屬于化學(xué)氣相沉積金剛石涂層技術(shù)領(lǐng)域。固定端立柱和移動(dòng)端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大電極可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小電極可拆卸固定于固定端大電極上端；移動(dòng)端立柱的上端固定有支撐板，彈簧固定安裝塊二可拆卸固定于支撐板上，移動(dòng)板滑動(dòng)設(shè)置在支撐板上，彈簧固定安裝塊一可拆卸固定在移動(dòng)板上，移動(dòng)端小電極與彈簧固定安裝塊一可拆卸固定連接，兩個(gè)拉伸彈簧水平并列設(shè)置并固定在兩個(gè)彈簧固定安裝塊之間，三根熱絲與固定端小電極、固定端大電極及移動(dòng)端小電極可拆卸固定連接，真空陶瓷電極組件分別與固定端小電極及移動(dòng)端小電極電連接。本發(fā)明用于化學(xué)氣相沉積金剛石涂層。 　　主權(quán)利要求：1.一種微刀具表面熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石涂層的電極系統(tǒng)，其特征在于：它包括底座(15)、固定電極組件、移動(dòng)電極組件和真空陶瓷電極組件；所述的固定電極組件包括固定端立柱(1)、固定端大電極(2)、固定端小電極(3)及三根熱絲(4)；所述的移動(dòng)電極組件包括移動(dòng)板(6)、移動(dòng)端小電極(7)、支撐板(10)、移動(dòng)端立柱(11)、四個(gè)吊環(huán)螺釘(5)、兩個(gè)拉伸彈簧(8)及兩個(gè)彈簧固定安裝塊(9)，所述的兩個(gè)彈簧固定安裝塊(9)分別是彈簧固定安裝塊一(9-1)和彈簧固定安裝塊二(9-2)；所述的固定端立柱(1)的下端可拆卸固定于底座(15)上，所述的固定端大電極(2)可拆卸固定于固定端立柱(1)上端，所述的固定端小電極(3)可拆卸固定于固定端大電極(2)上端；所述的移動(dòng)端立柱(11)與固定端立柱(1)相對(duì)設(shè)置，移動(dòng)端立柱(11)的下端可拆卸固定于底座(15)上，移動(dòng)端立柱(11)的上端固定有支撐板(10)，所述的彈簧固定安裝塊二(9-2)可拆卸固定于支撐板(10)上，所述的移動(dòng)板(6)滑動(dòng)設(shè)置在支撐板(10)上，且移動(dòng)板(6)與固定端小電極(3)相對(duì)設(shè)置，所述的彈簧固定安裝塊一(9-1))可拆卸固定在移動(dòng)板(6)上，所述的移動(dòng)端小電極(7)與彈簧固定安裝塊一(9-1)可拆卸固定連接，兩個(gè)彈簧固定安裝塊(9)相對(duì)設(shè)置，所述的兩個(gè)拉伸彈簧(8)水平并列設(shè)置在兩個(gè)彈簧固定安裝塊(9)之間，每個(gè)拉伸彈簧(8)的兩端各通過(guò)一個(gè)吊環(huán)螺釘(5)與兩個(gè)彈簧固定安裝塊(9)的相對(duì)側(cè)面固定連接，所述的三根熱絲(4)的其中一根熱絲(4)的一端與固定端小電極(3)可拆卸固定連接，三根熱絲(4)的另兩根熱絲(4)的一端均與固定端大電極(2)可拆卸固定連接，三根熱絲(4)的另一端均與移動(dòng)端小電極(7)可拆卸固定連接，三根熱絲(4)呈現(xiàn)空間平行排布；所述的真空陶瓷電極組件分別與固定端小電極(3)及移動(dòng)端小電極(7)電連接。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微刀具表面熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石涂層的電極系統(tǒng)，其特征在于：所述的三根熱絲(4)在垂直面上的投影呈現(xiàn)等腰三角形排布。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微刀具表面熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石涂層的電極系統(tǒng)，其特征在于：所述的固定端小電極(3)的上端面沿三根熱絲(4)的排布方向設(shè)置有半圓形導(dǎo)槽一(3-1)，所述的固定端大電極(2)的上端面沿三根熱絲(4)的排布方向設(shè)置有兩個(gè)半圓形導(dǎo)槽二(2-1)，所述的移動(dòng)端小電極(7)的上端面沿三根熱絲(4)的排布方向設(shè)置有三個(gè)半圓形導(dǎo)槽三(7-1)。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的微刀具表面熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石涂層的電極系統(tǒng)，其特征在于：所述的固定端小電極(3)和移動(dòng)端小電極(7)均由鉬材料制成。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微刀具表面熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石涂層的電極系統(tǒng)，其特征在于：所述的固定端立柱(1)由氮化硼陶瓷材料制成。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微刀具表面熱絲法化學(xué)氣相沉積金剛石涂層的電極系統(tǒng)，其特征在于：所述的真空陶瓷電極組件包括真空陶瓷電極(12)、兩條云母高溫線(13)和四個(gè)壓接端子(14)；所述的兩條云母高溫線(13)的兩端分別固定有一個(gè)壓接端子(14)，兩條云母高溫線(13)的其中一條云母高溫線(13)的一端通過(guò)壓接端子(14)與固定端小電極(3)電連接，該其中一條云母高溫線(13)的另一端通過(guò)壓接端子(14)與真空陶瓷電極(12)一端電連接，兩條云母高溫線(13)的另一條云母高溫線(13)的一端通過(guò)壓接端子(14)與移動(dòng)端小電極(7)電連接，該另一條云母高溫線(13)的另一端通過(guò)壓接端子(14)與真空陶瓷電極(12)另一端電連接。