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　　申請人：洛陽奧爾材料科技有限公司
　　發(fā)明人：鄒楊 孫蕾 楊宜珍 鄒松東 孫凌

　　摘要：一種金剛石涂層刀具生長裝置，涉及一種刀具生長裝置，包括真空室（8）、升降基片臺（2）和熱絲裝置（6），在真空室（8）內(nèi)設(shè)有立式放置的升降基片臺（2），在升降基片臺（2）的一側(cè)設(shè)有與升降基片臺（2）并排設(shè)置的熱絲裝置（6），在熱絲裝置（6）的兩端分別設(shè)有水冷電極（3），在升降基片臺（2）的另一側(cè)中部設(shè)有磁流體（7），在真空室（8）內(nèi)分別設(shè)有進(jìn)氣系統(tǒng)（4）和抽氣系統(tǒng)（5）；本實用新型通過設(shè)置立式放置的升降基片臺與熱絲裝置，并通過升降基片臺安裝基片及調(diào)節(jié)基片與熱絲裝置之間的距離，達(dá)到了鉭絲不下垂、沉積面積大、長時間均勻沉積的目的。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石涂層刀具生長裝置，包括真空室（8）、升降基片臺（2）和熱絲裝置（6），其特征是：在真空室（8）內(nèi)設(shè)有立式放置的升降基片臺（2），在升降基片臺（2）的一側(cè)設(shè)有與升降基片臺（2）并排設(shè)置的熱絲裝置（6），在熱絲裝置（6）的兩端分別設(shè)有水冷電極（3），在升降基片臺（2）的另一側(cè)中部設(shè)有磁流體（7），在真空室（8）內(nèi)分別設(shè)有進(jìn)氣系統(tǒng)（4）和抽氣系統(tǒng)（5）。