申請人:西安點石超硬材料發(fā)展有限公司
發(fā)明人:南俊馬 劉高寧 黃江波 湯驥暤
摘要:本發(fā)明提出一種用于IC封裝器件切割的層壓金屬基金剛石鋸刀及其制造方法,即在預(yù)先制備單層的基礎(chǔ)上,將多個單層疊加組合,再經(jīng)熱壓燒結(jié)制得復(fù)合體,使其具有疊層結(jié)構(gòu),并由表層和芯層共同構(gòu)成且擔(dān)當(dāng)各自不同的切割功用。每個單層均通過優(yōu)化金屬胎體組成配比在燒結(jié)條件下改變復(fù)合體的結(jié)構(gòu)組態(tài)和結(jié)合形態(tài),進而調(diào)控內(nèi)在力學(xué)和物理性能,實現(xiàn)表層的有效強化和芯層的適度弱化,以期獲得各層同步磨損的效果。按照實施本發(fā)明構(gòu)造的技術(shù)方案和選定的技術(shù)路線,構(gòu)建了疊層結(jié)構(gòu)具有強弱搭配的差異化組態(tài),建立了芯表協(xié)調(diào)磨損的機制,使得各層應(yīng)盡功能得到充分發(fā)揮,從而在有效改善芯片切割質(zhì)量的前提下,顯著提高了層壓鋸刀的切割效率并延長了使用壽命。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀,其特征在于:表層的金剛石顆粒大小為38-45μm,濃度為55%-65%;芯層的金剛石顆粒大小為53-63μm,濃度為50%-60%。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀,其特征在于:所述表層的CuSn合金為CuSn20,芯層的CuSn合金為CuSn10。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀,其特征在于:所述表層的金屬胎體構(gòu)成為:68-72重量份的CuSn20、21-26重量份的Cu及18-22重量份的Sn;所述芯層的金屬胎體構(gòu)成為:47-53重量份的CuSn10、37-43重量份的Cu及9-13重量份的Sn。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀,其特征在于:在所述的每個單層的中心進一步包括有中芯層,形成表層/芯層/中芯層/芯層/表層,其中,所述的芯層金剛石的顆粒大于中芯層的金剛石顆粒。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀,其特征在于:所述中芯層的金剛石顆粒大小為45-53μm,所述中芯層的金剛石的濃度為55%-65%。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀,其特征在于:所述中芯層的金屬胎體構(gòu)成為:32-38重量份的CuSn10、27-33重量份的Cu、18-22重量份的Co及12-18重量份的Ni。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任意一項所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀,其特征在于:該鋸刀應(yīng)用于BGA封裝的芯片時,其進給速度達450mm/s,有效切割長度達6Km。
9.一種基于權(quán)利要求1所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀的制造方法,其特征在于:將冷壓或熱壓制成的多個單層壓坯,相間疊放后置于燒結(jié)模具中,對中、定位、緊固后,將模具放置燒結(jié)爐內(nèi),在壓應(yīng)力為24MPa、升溫速度為80-90℃/min的條件下升溫至780-820℃,保溫6-8min后,以60-80℃/min的速度冷卻至室溫,然后實施熱壓燒結(jié),最后將燒結(jié)的毛坯進行內(nèi)外圓、雙面減薄及外圓磨成型加工,制得最終的鋸刀。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種基于IC封裝器件切割用層壓金屬基金剛石鋸刀的制造方法,其特征在于:所述的單層壓坯的過程中,首先將金屬胎體和金剛石磨粒攪拌混合后,再行制粒使其呈丸狀結(jié)構(gòu),大小為0.5mm-0.7mm,使金剛石磨粒均勻分布在金屬胎體中。