申請(qǐng)?zhí)枺?01620007770.3
　　申請(qǐng)人：濟(jì)南中烏新材料有限公司 山東貝斯特環(huán)境技術(shù)有限公司
　　發(fā)明人：王盛林 王篤福 王希江 王?，| 徐昌

　　摘要：一種金剛石單晶生長(zhǎng)腔體溫度測(cè)量裝置，包括頂錘、夾持環(huán)和溫度傳感器，頂錘設(shè)置在夾持環(huán)的端部，溫度傳感器封裝在夾持環(huán)內(nèi)。溫度傳感器通過(guò)引線(xiàn)連接至溫度測(cè)量?jī)x表或模塊，在金剛石單晶生長(zhǎng)腔體的前后左右四面各設(shè)置一個(gè)上述測(cè)溫裝置。頂錘感知生長(zhǎng)腔體內(nèi)的溫度，通過(guò)夾持環(huán)內(nèi)的溫度傳感器測(cè)量該溫度，根據(jù)該溫度與生長(zhǎng)腔體1內(nèi)實(shí)際溫度的相關(guān)性，從而得到腔體內(nèi)的溫度。該裝置測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)單，成本低，通過(guò)測(cè)量頂錘溫度，根據(jù)該溫度與腔體內(nèi)實(shí)際溫度的相關(guān)性，從而得到腔體內(nèi)的溫度，不直接測(cè)量處于高溫高壓條件下的腔體內(nèi)溫度。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石單晶生長(zhǎng)腔體溫度測(cè)量裝置，其特征是：包括頂錘、夾持環(huán)和溫度傳感器，頂錘設(shè)置在夾持環(huán)的端部，溫度傳感器封裝在夾持環(huán)內(nèi)。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石單晶生長(zhǎng)腔體溫度測(cè)量裝置，其特征是：所述頂錘與夾持環(huán)的結(jié)合處呈弧形。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石單晶生長(zhǎng)腔體溫度測(cè)量裝置，其特征是：所述夾持環(huán)內(nèi)設(shè)置有冷卻水道，溫度傳感器位于冷卻水道的上方。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石單晶生長(zhǎng)腔體溫度測(cè)量裝置，其特征是：所述溫度傳感器的封裝孔底部設(shè)置有銅墊片。