申請(qǐng)?zhí)枺?01410138529.X

　　申請(qǐng)人：上海交通大學(xué) 上海交友鉆石涂層有限公司 蘇州交鉆納米超硬薄膜有限公司

　　摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜的制備方法；以熱絲CVD裝置為沉積設(shè)備，在傳統(tǒng)的氫氣與丙酮反應(yīng)體系中加中含硼及含氮化合物，形成共摻雜體系，調(diào)節(jié)反應(yīng)工藝參數(shù)，制備出納米金剛石顆粒與定向金剛石顆粒共存的薄膜。該方法工藝流程簡(jiǎn)單，獲得的薄膜具有比隨機(jī)取向微米級(jí)金剛石薄膜平整的表面，耐磨損性高且均一，易拋光、內(nèi)應(yīng)力低以及膜基附著力高等特點(diǎn)。

　　主權(quán)利要求：1.一種硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，所述方法包括：將預(yù)處理過(guò)的基體材料置于熱絲CVD設(shè)備中，采用了硼氮共摻雜沉積工藝，在0.5kPa～1.5kPa的反應(yīng)氣壓以及850～1000℃的基體溫度下沉積，即可獲得所述硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜的制備方法，其特征在 于，所述的硼氮共摻雜沉積工藝為在所述熱絲CVD設(shè)備的反應(yīng)室內(nèi)通入氫氣以及碳源 氣體作為反應(yīng)氣體，所述的碳源氣體摻雜有B及N原子，其中摻雜比例為：硼碳原子 個(gè)數(shù)比為0.03％～0.08％；氮與碳的原子個(gè)數(shù)比為0.05％～0.15％。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜的制備方法，其特征在 于，所述碳源為丙酮、或者丙酮與甲醇的混合物。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜的制備方法，其特征在 于，所述B原子由硼化合物獲得，所述N原子由氮化合物獲得。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜的制備方法，其特征在 于，所述硼化合物為硼酸三甲酯。

　　6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硼氮共摻納米基定向金剛石薄膜的制備方法，其特征在 于，所述氮化合物為尿素。