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官方微信摘要 申請(qǐng)?zhí)枺?01410032014申請(qǐng)人：中國(guó)有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院有限公司摘要：本發(fā)明公開了一種多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，包括切割多晶硅錠的金剛石線鋸，所述金剛石線鋸包括環(huán)形金剛...
申請(qǐng)?zhí)枺?span>201410032014
申請(qǐng)人：中國(guó)有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院有限公司
摘要：本發(fā)明公開了一種多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，包括切割多晶硅錠的金剛石線鋸，所述金剛石線鋸包括環(huán)形金剛石鋸絲，至少兩條以上環(huán)形金剛石鋸絲分別由各自對(duì)應(yīng)設(shè)置的導(dǎo)輪組張緊運(yùn)轉(zhuǎn)而形成X向相互平行的一組切割面，至少兩條環(huán)形金剛石鋸絲分別由各自對(duì)應(yīng)設(shè)置的導(dǎo)輪組張緊而形成Y向相互平行的另一組切割面，兩組切割面上的X向金剛石鋸絲線族和Y向金剛石鋸絲線族交叉形成方格形切割網(wǎng)。本發(fā)明采用多條環(huán)形金剛石鋸絲排列成縱橫的網(wǎng)狀線切割多晶硅錠，有效利用環(huán)形金剛石鋸絲單方向、無(wú)慣性力、高速運(yùn)動(dòng)的特性，可使加工效率相比往復(fù)式金剛石線鋸裝置提高3倍～5倍。
獨(dú)立權(quán)利要求：
1.多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，包括切割多晶硅錠（3）的金剛石線鋸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述金剛石線鋸機(jī)構(gòu)包括環(huán)形金剛石鋸絲（1），至少兩條以上環(huán)形金剛石鋸絲（1）分別由各自對(duì)應(yīng)設(shè)置的導(dǎo)輪組張緊運(yùn)轉(zhuǎn)而形成X向相互平行的一組切割面，至少兩條以上環(huán)形金剛石鋸絲（1）分別由各自對(duì)應(yīng)設(shè)置的導(dǎo)輪組張緊而形成Y向相互平行的另一組切割面，兩組切割面上的X向金剛石鋸絲（1）線族和Y向金剛石鋸絲（1）線族交叉形成方格形切割網(wǎng)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：兩個(gè)平面的間距為5mm～20mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述導(dǎo)輪組包括兩個(gè)以上導(dǎo)輪（2）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：兩個(gè)以上導(dǎo)輪（2）中包括一個(gè)主動(dòng)輪。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：同組切割面各導(dǎo)輪組中的主動(dòng)輪位置相對(duì)應(yīng)，且同軸固連于傳動(dòng)軸上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述X向金剛石鋸絲（1）線族的線間距相等，Y向金剛石鋸絲（1）線族的線間距相等。
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