申請(qǐng)?zhí)枺?01320313241

　　申請(qǐng)人：中國(guó)工程物理研究院總體工程研究所四川中物超硬材料有限公司

　　摘要：本實(shí)用新型公開了微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，包括化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室，該化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室的上端設(shè)置有排氣通道，同時(shí)在其下端還設(shè)置有進(jìn)氣裝置，在化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室的內(nèi)部還設(shè)置有拉絲主體，該拉絲主體上還連接有電源；拉絲主體包括拉絲模、設(shè)置于拉絲模下端的耐高溫支撐裝置，在該拉絲模的上下兩端與其相差3mm～5mm的位置還分別設(shè)置有上加熱絲與下加熱絲，上加熱絲與下加熱絲的兩端分別連接有一號(hào)電極與二號(hào)電極。本實(shí)用新型提供一種微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，大大增長(zhǎng)了模具的使用壽命、提高了尺寸精度以及線材或管材表面質(zhì)量，能夠使微小孔徑拉絲模內(nèi)孔表面金剛石涂層均勻，增強(qiáng)了涂層與基體結(jié)合能力，且涂層后的孔型圓整度較好。

　　獨(dú)立權(quán)利要求：1.微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，包括化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室（1），該化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室（1）的上端設(shè)置有排氣通道（2），同時(shí)在其下端還設(shè)置有進(jìn)氣裝置，在化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室（1）的內(nèi)部還設(shè)置有拉絲主體（3），該拉絲主體（3）上還連接有電源。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣裝置包括氣體分布器（4）以及通過(guò)輸氣管與其相連的混氣室（6），在該混氣室（6）上還設(shè)置有另外三根進(jìn)氣管（7），且三根進(jìn)氣管（7）的另一端分別連接有甲烷儲(chǔ)氣罐、氫氣儲(chǔ)氣罐以及氬氣儲(chǔ)氣罐。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管（7）上分別設(shè)置有氣體流量計(jì)，該氣體分布器（4）成漏斗狀且開口朝上設(shè)置。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述排氣通道（2）的另一端設(shè)置有機(jī)械泵。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述拉絲主體（3）包括拉絲模（9）、設(shè)置于拉絲模（9）下端的耐高溫支撐裝置（14），在該拉絲模（9）的上下兩端與其相差3mm～5mm的位置還分別設(shè)置有上加熱絲（10）與下加熱絲（13），上加熱絲（10）與下加熱絲（13）的兩端分別連接有一號(hào)電極（12）與二號(hào)電極（15）。

　　6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述拉絲模（9）的數(shù)量至少為一個(gè)，且成陣列設(shè)置于耐高溫支撐裝置（14）上，該拉絲模（9）成圓柱狀，在其內(nèi)部設(shè)置有大口向下的漏斗狀通孔，同時(shí)在該拉絲模（9）的非工作表面涂有用于絕緣的SiO2涂層。

　　7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述一號(hào)電極（12）與二號(hào)電極（15）設(shè)置于拉絲模（9）軸向兩端，且與拉絲模（9） 的軸線處于同一平面，且設(shè)置于一號(hào)電極（12）與二號(hào)電極（15）之間的上加熱絲（10）的直徑為0.15mm-0.30mm，同時(shí)下加熱絲（13）的直徑為0.30mm-0.60mm，且其材料為鎢絲或鉭絲。

　　8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述一號(hào)電極（12）的兩端還分別設(shè)置有一根耐高溫彈簧（11），該耐高溫彈簧（11）的材料為鎢絲。

　　9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述電源包括加熱電源（5）與偏壓電源（8），加熱電源（5）的兩極分別與上加熱絲（10）以及下加熱絲（13）的兩端相連，偏壓電源（8）的正極連接在耐高溫支撐裝置（14）上，且該偏壓電源（8）的負(fù)極連接在加熱絲上。

　　10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微小孔徑金剛石涂層拉絲模裝置，其特征在于，所述耐高溫支撐裝置（14）的材料為鎢鉬合金。