申請?zhí)枺?01310055603

　　申請人：太原理工大學(xué)

　　摘要：本發(fā)明公開了一種TiNi合金表面制備金剛石涂層的方法，屬于TiNi合金表面沉積金剛石薄膜的方法，解決TiNi合金由于Ni含量較高無法生長金剛石的問題。包括以下步驟：利用雙層輝光離子滲金屬方法在TiNi合金表面滲鉬，然后利用化學(xué)氣相沉積方法進行金剛石薄膜沉積，使TiNi合金表面形成金剛石薄膜/滲鉬層復(fù)合涂層。本發(fā)明將雙層輝光離子滲金屬技術(shù)和化學(xué)氣相沉積鍍技術(shù)有機結(jié)合，工藝重復(fù)性好，質(zhì)量易控，操作簡單，所制得的成品性能良好，金剛石薄膜能夠與基體有良好的結(jié)合強度，并獲得基體有效的支撐。

　　獨立權(quán)利要求：1.一種TiNi合金表面制備金剛石涂層的方法，其特征在于，包括以下步驟：利用雙層輝光離子滲金屬方法在TiNi合金表面滲鉬，然后利用化學(xué)氣相沉積方法進行金剛石薄膜沉積，使TiNi合金表面形成金剛石薄膜/滲鉬層復(fù)合涂層，即得成品。