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金剛石線鋸裝置

關(guān)鍵詞 金剛石線鋸|2012-03-24 10:09:45|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 專利號(hào):CN102225593A申請(qǐng)人:桂林創(chuàng)源金剛石有限公司本發(fā)明公開了一種切割硅錠的金剛石線鋸裝置,由金剛石鋸絲

        專利號(hào):CN102225593A

        申請(qǐng)人:桂林創(chuàng)源金剛石有限公司

        本發(fā)明公開了一種切割硅錠的金剛石線鋸裝置,由金剛石鋸絲相互平行纏繞在成組的導(dǎo)線輪上形成的線網(wǎng)的網(wǎng)面構(gòu)成多層切割網(wǎng)面,各層切割面上的金剛石鋸絲上下對(duì)齊,按切割順序,各層切割網(wǎng)面金剛石鋸絲的直徑逐漸增大,其中金剛石鋸絲的線徑逐漸增粗,而其上附著的金剛石磨粒尺寸逐漸減小。本發(fā)明采用多組金剛石鋸絲切割網(wǎng)面依次切割硅片的方法,將硅片的切割、精磨和拋光分工序由不同性質(zhì)的金剛石鋸絲按不同的運(yùn)行參數(shù)完成,以獲得更高的硅材料利用率,滿足切割線縫越來(lái)越窄、硅片切割朝更薄發(fā)展的要求。

 

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