名稱 | 碳化硅質(zhì)材料熱處理用夾具 | ||
公開號 | 1376647 | 公開日 | 2002.10.30 |
主分類號 | C04B35/56 | 分類號 | C04B35/56;C01B31/36 |
申請?zhí)?/strong> | 02108008.9 | ||
分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2002.03.22 | |
頒證日 | 優(yōu)先權 | 2001.3.22__JP_2001-082030 | |
申請人 | 日本礙子株式會社;NGK阿德列克株式會社 | 地址 | 日本愛知縣 |
發(fā)明人 | 木下壽治 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 北京銀龍專利代理有限公司 | 代理人 | 劉克寬 |
摘要 | 本發(fā)明提供了一種熱處理用夾具,可以控制夾具自體隨時間變形及因彎曲使熱處理中的玻璃基板的變形,在具有穩(wěn)定性和適宜的剛性的同時,具有可在比較短時間內(nèi)高效率地進行玻璃基板的均勻熱處理的優(yōu)良熱傳導性,改善了更大型玻璃基板的載置或卸出時的操作性。玻璃基板在進行熱處理時,為載置該玻璃基板而使用的板狀熱處理用夾具。該夾具的主相由碳化硅構成,在其表面設置有凹凸形狀,表面的算術平均粗糙度Ra 為0.01-200m,凹凸的平均間隔Sm與Ra的比(Sm/Ra)為500以下。 |