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用作電源開關(guān)的碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管及其制造方法

關(guān)鍵詞 碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管|2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱用作電源開關(guān)的碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管及其制造方法公開號1297258公開日2001.05.30主分類號H01L2

 

名稱 用作電源開關(guān)的碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管及其制造方法 
公開號 1297258  公開日 2001.05.30   
主分類號 H01L29/786  分類號 H01L29/786 
申請?zhí)?/strong> 00130957.9 
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 2000.11.22   
頒證日   優(yōu)先權(quán)  
申請人 朗迅科技公司  地址 1999.11.23 US 09/448,856 
發(fā)明人 譚健;阿施拉夫·瓦吉赫·洛特菲    國際申請 美國新澤西州 
國際公布   進(jìn)入國家日期  
專利代理機構(gòu) 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所  代理人 王永剛 
摘要   一種形成在半導(dǎo)體晶片的襯底之上的橫向金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)、一種制造它的方法和組裝了MOSFET的半導(dǎo)體器件及其制造方法。在一個實施例中,MOSFET包括位于襯底之上或之內(nèi)的碳化硅層,柵極形成于碳化硅層之上。MOSFET還包括位于碳化硅層中并且與該柵極接觸的源區(qū)和漏區(qū),碳化硅層提高了 MOSFET的擊穿電壓。
 

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