用作電源開關(guān)的碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管及其制造方法
關(guān)鍵詞 碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管|2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱用作電源開關(guān)的碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管及其制造方法公開號1297258公開日2001.05.30主分類號H01L2
名稱 |
用作電源開關(guān)的碳化硅N溝場效應(yīng)晶體管及其制造方法 |
公開號 |
1297258 |
公開日 |
2001.05.30 |
主分類號 |
H01L29/786 |
分類號 |
H01L29/786 |
申請?zhí)?/strong> |
00130957.9 |
分案原申請?zhí)?/strong> |
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申請日 |
2000.11.22 |
頒證日 |
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優(yōu)先權(quán) |
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申請人 |
朗迅科技公司 |
地址 |
1999.11.23 US 09/448,856 |
發(fā)明人 |
譚健;阿施拉夫·瓦吉赫·洛特菲 |
國際申請 |
美國新澤西州 |
國際公布 |
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進(jìn)入國家日期 |
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專利代理機構(gòu) |
中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 |
代理人 |
王永剛 |
摘要 |
一種形成在半導(dǎo)體晶片的襯底之上的橫向金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)、一種制造它的方法和組裝了MOSFET的半導(dǎo)體器件及其制造方法。在一個實施例中,MOSFET包括位于襯底之上或之內(nèi)的碳化硅層,柵極形成于碳化硅層之上。MOSFET還包括位于碳化硅層中并且與該柵極接觸的源區(qū)和漏區(qū),碳化硅層提高了 MOSFET的擊穿電壓。 |
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