名稱 | 新穎的碳化硅仿真晶片 | ||
公開號(hào) | 1147806 | 公開日 | 1997.04.16 |
主分類號(hào) | C04B35/573 | 分類號(hào) | C04B35/573;C30B31/10;C04B41/87;C04B38/00 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 96190134.9 | ||
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1996.02.28 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1995.3.1[33]US[31]08/396,970 | |
申請(qǐng)人 | 圣戈本/諾頓工業(yè)搪瓷有限公司 | 地址 | 美國(guó)馬薩諸塞州 |
發(fā)明人 | C·A·維勒肯斯; N·P·阿爾賽諾 | 國(guó)際申請(qǐng) | PCT.US96/02880 96.2.28 |
國(guó)際公布 | WO96.26910 英 96.9.6 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | 1996.10.28 |
專利代理機(jī)構(gòu) | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 林蘊(yùn)和 |
摘要 | 本發(fā)明涉及一種基本上由重結(jié)晶碳化硅組成的未硅化處理或經(jīng)硅化處理的晶片,晶片直徑至少為150mm,厚度為0.5~2mm,晶片中含有15~43v/o的孔隙率或游離硅。 |