名稱 | 有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法 | ||
公開(kāi)號(hào) | 1365169 | 公開(kāi)日 | 2002.08.21 |
主分類號(hào) | H01S5/02 | 分類號(hào) | H01S5/02 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 01120959.3 | ||
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 2001.06.21 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
申請(qǐng)人 | 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 | 地址 | 130022吉林省長(zhǎng)春市人民大街140號(hào) |
發(fā)明人 | 廖新勝;劉云;王立軍 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
專利代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)春科宇專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 梁愛(ài)榮 |
摘要 | 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電子技術(shù)領(lǐng)域,提供一種有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法,把金剛石厚膜切割成熱沉所需形狀并將其表面拋光、清洗干凈并在鍍制鈦、鎳、金薄膜并金屬化、鍍銦;熱沉包括:螺釘孔,銅板,絕緣墊,激光器陣列條,銅片,透孔,銅片。本發(fā)明將金剛石厚膜表面完全浸在由進(jìn)水孔、淺槽、出水孔、水流向線組成的有源大通道的冷卻液中以獲得額外低熱阻的熱沉,提高了激光器和功率器件性能的穩(wěn)定性和可靠性。廣泛用于半導(dǎo)體激光器、集成電路、集成光路、微波管等需要散熱功率器件 |