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有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法

關(guān)鍵詞 金剛石厚膜 , 熱沉 , 制備|2010-12-22 00:00:00|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法公開(kāi)號(hào)1365169公開(kāi)日2002.08.21主分類號(hào)H01S5/02&nbs

 

名稱 有源大通道金剛石厚膜熱沉制備方法 
公開(kāi)號(hào) 1365169  公開(kāi)日 2002.08.21   
主分類號(hào) H01S5/02  分類號(hào) H01S5/02 
申請(qǐng)?zhí)?/strong> 01120959.3   
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>   申請(qǐng)日 2001.06.21   
頒證日   優(yōu)先權(quán)  
申請(qǐng)人 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所    地址 130022吉林省長(zhǎng)春市人民大街140號(hào)  
發(fā)明人 廖新勝;劉云;王立軍    國(guó)際申請(qǐng)  
國(guó)際公布   進(jìn)入國(guó)家日期  
專利代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)春科宇專利代理有限責(zé)任公司    代理人 梁愛(ài)榮   
摘要   本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電子技術(shù)領(lǐng)域,提供一種有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法,把金剛石厚膜切割成熱沉所需形狀并將其表面拋光、清洗干凈并在鍍制鈦、鎳、金薄膜并金屬化、鍍銦;熱沉包括:螺釘孔,銅板,絕緣墊,激光器陣列條,銅片,透孔,銅片。本發(fā)明將金剛石厚膜表面完全浸在由進(jìn)水孔、淺槽、出水孔、水流向線組成的有源大通道的冷卻液中以獲得額外低熱阻的熱沉,提高了激光器和功率器件性能的穩(wěn)定性和可靠性。廣泛用于半導(dǎo)體激光器、集成電路、集成光路、微波管等需要散熱功率器件 
 

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