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日本先進(jìn)工業(yè)科學(xué)與技術(shù)研究院：拼接法單晶金剛石襯底上HFCVD硼摻雜外延層的水平和垂直方向均勻性研究

金剛石因優(yōu)異的物理、電子性能而在功率電子器件和量子技術(shù)領(lǐng)域里表現(xiàn)出誘人的應(yīng)用前景。想要實(shí)現(xiàn)這些應(yīng)用，需要表面平整、內(nèi)部沒(méi)有嚴(yán)重晶體缺陷的本體材料和缺陷數(shù)量可控的高質(zhì)量外...

日期 2022-06-07   
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