近日,浙江省經(jīng)濟和信息化廳公開了《浙江省重點新材料首批次應用示范指導目錄(2024年版)》,分為先進基礎材料、關鍵戰(zhàn)略材料、前沿新材料三大類共計329種重點新材料。其中,將聚晶金剛石刀片及刀具、大尺寸高品質金剛石單晶材料列為先進基礎材料,芯片導熱用單晶金剛石晶圓列為關鍵戰(zhàn)略材料,具體性能要求如下:
聚晶金剛石片及刀具
性能要求:
(1)石油鉆探用聚晶金剛石復合片:磨削磨耗比≥5.9×105,抗沖擊性≥1350J,密度>3.90g/cm3,克努普(Knoop)顯微硬度 50~60GPa。
(2)高端切削刀具加工用聚晶金剛石復合片:硬度≥8000HV,磨耗比>100000,顯微硬度>6000kg/mm2,耐熱溫度>700℃。刀具:采用鋼體柄部硬度≥HRC45,采用硬質合金基體硬度≥HRA89,切削刃徑向圓跳動≤0.01mm,切削刃表面粗糙度 Ra0.4μm。
應用領域:航空、國防、風能、汽車、石油頁巖氣鉆探、高端切削刀具加工行業(yè)
大尺寸、高品質金剛石單晶材料
性能要求:毫米尺度金剛石大單晶,尺寸≥10×10 mm,主雜質 N 含量<1ppm,斷裂強度>1000MPa。介質損耗<10-5。
應用領域:電子、導航、刀具產(chǎn)業(yè)
芯片導熱用單晶金剛石晶圓
性能要求:熱導率≥2000W/m·K,表面粗糙度 Ra<1nm,尺寸≥2 英寸。
應用領域:集成電路