從20世紀(jì)80年代初算起,CVD(化學(xué)氣相沉積)金剛石技術(shù)的研究熱潮已經(jīng)過了四十個(gè)年頭,CVD金剛石沉積技術(shù)、加工技術(shù)和應(yīng)用技術(shù)得到了快速發(fā)展。但和HPHT(高溫高壓)制備技術(shù)相比,盡管CVD法制備出的金剛石性能更優(yōu)異,但成本高、加工難度大,限制了應(yīng)用的推廣和普及,專業(yè)從事CVD金剛石沉積設(shè)備和產(chǎn)品的企業(yè)也遠(yuǎn)少于做HPHT金剛石的企業(yè)。
近年來,半導(dǎo)體行業(yè)的加速發(fā)展催生了對(duì)高品質(zhì)金剛石的期待,CVD金剛石的優(yōu)越性顯現(xiàn),再加上低成本制備技術(shù)和加工技術(shù)的開發(fā),再一次形成了CVD金剛石發(fā)展熱潮,一批高科技、高水準(zhǔn)的CVD金剛石企業(yè)應(yīng)運(yùn)而生,來自中國山城的重慶啟晶科技發(fā)展有限公司(以下簡(jiǎn)稱“啟晶科技”)就是其中之一。
2023年3月下旬,中國超硬材料網(wǎng)記者走進(jìn)山城重慶,專訪啟晶科技總經(jīng)理程衍喆、副總經(jīng)理張大為,圍繞企業(yè)成長、發(fā)展困境、未來企業(yè)規(guī)劃等話題展開交流。
磨難中 見成長
和行業(yè)內(nèi)擁有多年發(fā)展經(jīng)驗(yàn)的企業(yè)相比,啟晶科技在人造金剛石領(lǐng)域?qū)賹?shí)年輕,成立至今不過四年時(shí)間。然而,就在這期間,啟晶科技攻堅(jiān)克難,瞄準(zhǔn)金剛石半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用,自主研發(fā)出直徑大于四英寸、厚度約為0.1-2毫米的金剛石晶圓片,與國內(nèi)知名下游企業(yè)展開合作,走在了科技發(fā)展的前沿。
自古英雄多磨難,企業(yè)亦如是。啟晶科技是一家專做CVD金剛石產(chǎn)品和設(shè)備的企業(yè),2019年6月成立于重慶。談及為何選擇重慶發(fā)展CVD金剛石,程衍喆解釋道,“重慶西永微電子產(chǎn)業(yè)園區(qū)有西部硅谷之稱,是重慶市經(jīng)濟(jì)發(fā)展和對(duì)外開放的重要平臺(tái)。受當(dāng)?shù)卣峁┑臓I商環(huán)境和發(fā)展優(yōu)勢(shì)吸引,我們決定落地重慶西永微電子產(chǎn)業(yè)園,并于上海進(jìn)博會(huì)與政府簽約三方投資協(xié)議落地。”
同年,公司香港團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的915MHz微波等離子體CVD沉積設(shè)備已研制成功,初出茅廬的啟晶科技正準(zhǔn)備大展拳腳,卻迎來了三年之久的疫情黑天鵝。啟晶科技見狀及時(shí)調(diào)整策略,組織重慶本地團(tuán)隊(duì)進(jìn)行MPCVD技術(shù)培訓(xùn),待機(jī)器設(shè)備和技術(shù)團(tuán)隊(duì)歸位后快速開展金剛石晶圓片的研發(fā),最終在2021年10月成功研制成一批直徑為4英寸(大于10厘米)、厚度約為300微米的CVD金剛石晶圓片,隨后通過半年時(shí)間沉淀,技術(shù)日趨成熟,成為國家首家用微波等離子體CVD技術(shù)量產(chǎn)4英寸金剛石晶圓片的企業(yè),填補(bǔ)國內(nèi)市場(chǎng)空白。
核心產(chǎn)品的成功研制為這個(gè)年輕的團(tuán)隊(duì)注入了強(qiáng)心針,加快做好做強(qiáng)CVD金剛石產(chǎn)品的信心也更加堅(jiān)定。無獨(dú)有偶,2022年疫情防控、高溫停電等外部沖擊再次來襲,啟晶科技選擇了專注“做內(nèi)功、搞研發(fā)”,與國內(nèi)多所科研院校深度綁定,在散熱、單晶、電子級(jí)、光學(xué)級(jí)等方面深入項(xiàng)目交流?,F(xiàn)在,啟晶科技已經(jīng)可以研制出6英寸的金剛石晶圓片,第二代自主研發(fā)的MPCVD設(shè)備預(yù)計(jì)今年將正式投入使用。
敢擔(dān)當(dāng) 重實(shí)效
采訪交流中,我們能切實(shí)地感受到啟晶科技的創(chuàng)新活力、團(tuán)隊(duì)凝聚力和家國情懷。他們真誠而直接,坦蕩且從容。他們攻堅(jiān)克難,填補(bǔ)市場(chǎng)空白;他們團(tuán)結(jié)互助,共御疫情風(fēng)險(xiǎn);他們傾聽黨的號(hào)召,用科技前沿詮釋心中強(qiáng)國夢(mèng)。
不同于大多數(shù)企業(yè)選擇的上市融資發(fā)展路徑,啟晶科技從一開始就強(qiáng)調(diào)不急于走這條道路,不被資本力量裹挾,真真正正地做出前沿產(chǎn)品,為中國CVD金剛石行業(yè)做出一些貢獻(xiàn)、干出一些實(shí)事兒才是啟晶科技內(nèi)心最深處的渴望。但啟晶科技作為一家科創(chuàng)型企業(yè),研發(fā)創(chuàng)新是企業(yè)立足之本,研發(fā)經(jīng)費(fèi)投入強(qiáng)度大,持續(xù)穩(wěn)定的資金供給成為了企業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。
“在這里要感謝重慶市政府和園區(qū)的支持,感謝我們的投資人,我們慶幸有這樣一群伙伴給我們力量,讓我們安心搞研發(fā)、做產(chǎn)品。”程衍喆講到。據(jù)了解,啟晶科技是由重慶市商務(wù)委港澳臺(tái)處、與西永微電子產(chǎn)業(yè)園重點(diǎn)考察引進(jìn),香港六晶科技有限公司、華仕國際有限公司和深圳市浦盈通控股有限公司共同投資成立。
除此以外,啟晶科技也在大力推動(dòng)4英寸金剛石晶圓片的量產(chǎn),力圖在金剛石半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用方面打開缺口,實(shí)現(xiàn)資金回流。目前,全球競(jìng)爭(zhēng)日益加劇,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突圍迫在眉睫。在程衍喆看來,金剛石作為業(yè)內(nèi)公認(rèn)的終極半導(dǎo)體材料,金剛石企業(yè)需要有一定的社會(huì)責(zé)任,將產(chǎn)品做到更好的級(jí)別,不搞盲目逐利,不搞價(jià)格競(jìng)爭(zhēng),不搞快速圈錢,在合適的階段做合適的事情,這樣的企業(yè)盈利才更有意義。
一代人有一代人的使命,無數(shù)老一輩的超硬人辛勤耕耘六十載,參與和見證了我國人造金剛石行業(yè)從無到有、從小到大的整個(gè)歷程,啟晶科技作為成長起來的年輕一代,將成為這支隊(duì)伍中新的強(qiáng)有力的擔(dān)當(dāng),開拓金剛石半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用方面。做中國CVD金剛石行業(yè)的領(lǐng)跑者,立足重慶,面向全國,啟晶科技正在將他們的美好愿景變?yōu)楝F(xiàn)實(shí),奮力書寫中國CVD金剛石行業(yè)發(fā)展新篇章。