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鄭州華晶金剛石股份有限公司

拉伸金剛石打造下一代微電子器件

關(guān)鍵詞 金剛石 , 電子器件|2021-01-05 09:19:24|來源 中國科學報
摘要 近日,來自香港城市大學AliceHu和陸洋、哈爾濱工業(yè)大學朱嘉琦、麻省理工李巨等研究者,首次使用納米力學方法,實現(xiàn)了微晶金剛石陣列的大而均勻的拉伸彈性應變。該發(fā)現(xiàn)顯示了金剛石作為微...

近日,來自香港城市大學Alice Hu和陸洋、哈爾濱工業(yè)大學朱嘉琦、麻省理工李巨等研究者,首次使用納米力學方法,實現(xiàn)了微晶金剛石陣列的大而均勻的拉伸彈性應變。該發(fā)現(xiàn)顯示了金剛石作為微電子學、光子學和量子信息技術(shù)中高級功能器件的主要候選材料的潛力。相關(guān)論文以題為“Achieving large uniform tensile elasticity in microfabricated diamond”于2021年元月1日發(fā)表在國際頂級期刊Science上。

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“這是第一次通過拉伸實驗顯示金剛石具有極大的均勻彈性。我們的發(fā)現(xiàn)證明了通過微加工金剛石結(jié)構(gòu)的‘深層彈性應變工程’開發(fā)電子設(shè)備的可能性?!毕愀鄢鞘写髮W副教授陸洋說。
       金剛石因其超高的導熱性、優(yōu)異的載流子遷移率、高擊穿強度和超寬帶隙而被認為是一種高性能的電子和光子材料。然而,由于金剛石的大帶隙和緊湊的晶體結(jié)構(gòu),使得在生產(chǎn)過程中調(diào)制半導體電子性能的常用方法難以實現(xiàn),阻礙了金剛石在電子和光電子器件中的工業(yè)應用。一種可能的方法是通過“應變工程”,即應用非常大的晶格應變,改變帶隙結(jié)構(gòu)和相關(guān)的功能性質(zhì)。但由于金剛石具有極高的硬度,這被認為是“不可能的”。
       之前,研究人員發(fā)現(xiàn),納米級的鉆石可以在意想不到的大局部應變下發(fā)生彈性彎曲。在此基礎(chǔ)上,新研究表明了如何利用這一現(xiàn)象開發(fā)功能性金剛石器件。
       該團隊首先制備了樣品。這些樣品呈橋狀——大約1微米長、300納米寬,兩端更寬。然后,鉆石橋在電子顯微鏡下以控制良好的方式單軸拉伸。在連續(xù)可控的加載—卸載定量拉伸試驗循環(huán)下,金剛石橋在整個試件測量截面上表現(xiàn)出高度均勻的大彈性變形,約為7.5%,而不是彎曲局部的變形。之后,它們恢復了原來的形狀。
       研究人員對樣品幾何結(jié)構(gòu)進行了進一步優(yōu)化,最大均勻拉伸應變達到9.7%,甚至超過了2018年研究的局部最大值,接近金剛石的理論彈性極限。更重要的是,為了演示應變金剛石裝置的概念,該團隊還實現(xiàn)了微晶金剛石陣列的彈性應變。
       研究小組隨后進行了計算,以估計彈性應變從0到12%對鉆石電子特性的影響。模擬結(jié)果表明,隨著拉伸應變的增加,金剛石的帶隙寬度普遍減小,在9%的應變下,沿特定晶體取向的帶隙寬度能從5 eV左右減小到3 eV左右。
       專家認為,這證明了金剛石的帶隙結(jié)構(gòu)可以改變,更重要的是,這些改變可以是連續(xù)和可逆的,能適合不同的應用,從微/納米機電系統(tǒng)到光電和量子技術(shù)。

       文獻鏈接:

       https://science.sciencemag.org/content/371/6524/76

 

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