據(jù)報道,中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所謝曉明研究員團隊“十年磨一劍”,在高品質石墨烯電子材料制備方面取得多項突破。該團隊與上海市石墨烯產業(yè)技術功能型平臺合作,通過建設創(chuàng)新實驗室,實現(xiàn)8英寸石墨烯單晶晶圓、4英寸鍺基石墨烯晶圓、大面積六方氮化硼介質薄膜的中試生產。該研究項目近日獲得上海市自然科學獎一等獎。
石墨烯是一種新型碳材料,與硅基材料相比,優(yōu)勢明顯:一是單層石墨烯的厚度僅為0.27納米,在半導體工藝制程方面,遵循摩爾定律的發(fā)展?jié)摿Ρ裙杌牧洗蟮枚?;二是石墨烯的晶體結構讓自由電子遷移不受束縛,電子運行速度達到1/300光速,比硅芯片快100—1000倍;三是用石墨烯制造的處理器頻率有望達到1太赫茲以上,比硅芯片高100—1000倍;四是石墨烯可以制成柔性薄膜,讓電子產品能彎曲、更便攜。為了讓這類材料盡快產業(yè)化,中科院上海微系統(tǒng)所謝曉明團隊還與國內、國際多家單位合作,實現(xiàn)了石墨烯在微電子、能源、生物醫(yī)學等領域的應用。