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鄭州華晶金剛石股份有限公司

【深度】全球半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)發(fā)展概況與趨勢(下)

關(guān)鍵詞 半導(dǎo)體硅片|2017-01-13 09:19:20|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 四大因素導(dǎo)致硅晶圓供不應(yīng)求從需求端來看,硅片需求開始復(fù)蘇,增長迅速,主要因素是四個(gè)方面:1)全球晶圓代工大廠臺(tái)積電、三星電子、英特爾進(jìn)入高端制程工藝競賽,包括臺(tái)積電投入7/10/1...
  四大因素導(dǎo)致硅晶圓供不應(yīng)求
  從需求端來看,硅片需求開始復(fù)蘇,增長迅速,主要因素是四個(gè)方面:
  1)全球晶圓代工大廠臺(tái)積電、三星電子、英特爾進(jìn)入高端制程工藝競賽,包括臺(tái)積電投入7/10/16/28nm制程,英特爾投入14/22nm 制程,近3年的資本支出都高達(dá)80億~110億美元,至于聯(lián)電、三星及GlobalFoundries等亦陸續(xù)擴(kuò)充28、14nm制程產(chǎn)能;
  2)三星、SK海力士、英特爾/美光、東芝等NAND Flash陣營,全力投入3D NAND擴(kuò)產(chǎn),以因應(yīng)智能手機(jī)存儲(chǔ)、固態(tài)硬盤(SSD)、 eMMC/eMCP 等各種采用3D NAND芯片的應(yīng)用需求;
  3)汽車半導(dǎo)體、CIS 圖像傳感器、MCU微控制器等芯片快速普及;
  4)大陸半導(dǎo)體廠商大舉擴(kuò)產(chǎn),更是不可輕忽的勢力,大陸既有12寸廠合計(jì)月產(chǎn)能約46萬片,建臵中的產(chǎn)能約63萬片,未來大陸12寸廠單月產(chǎn)能將高達(dá)109萬片,包括中芯國際等大陸廠商在上海、深圳等地新建的12寸廠,以及臺(tái)積電南京廠、聯(lián)電廈門聯(lián)芯、華力微二廠,加上福建泉州DRAM廠、武漢新芯3DNAND廠等,產(chǎn)能增加規(guī)模相當(dāng)可觀。
四大因素導(dǎo)致硅晶片供不應(yīng)求
  全球各大半導(dǎo)體硅片廠情況分析
 ?。?)日本信越 ShinEtsu
  日本信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社(Shin-Etsu Chemical)是日本首屈一指的化工企業(yè),于 1926 年成立。目前在全球范圍內(nèi)擁有員工 18000 多人,在亞洲、歐洲、北美和南美多個(gè)國家擁有研發(fā)中心與制造工廠。
信越化工的研發(fā)與制造工廠遍布全球
  信越化工目前主要包括六大事業(yè)部, 分別為 PVC/氯堿業(yè)務(wù)(全球第一)、有機(jī)硅業(yè)務(wù)(全球第四)、特種化學(xué)品業(yè)務(wù)(纖維素衍生物-全球第二、金屬硅、聚乙烯醇等)、 半導(dǎo)體硅材料業(yè)務(wù)(全球第一)、 電子功能材料業(yè)務(wù)(稀土、封裝材料、 LED 涂層、光致抗蝕劑、光掩模、合成石英、氧化物單晶、 光阻劑-全球第二等)、 多元化經(jīng)營業(yè)務(wù)(加工塑料、技術(shù)出口、設(shè)備、工程)。
2015 財(cái)年信越收入按產(chǎn)品劃分
 ?。?)日本 Sumco
  日本 SUMCO 前身為成立于 1937 年的 Osaka Special Steel 公司, 1992 年和 1998年先后合并了 Kyushu 電子金屬公司和Sumitomo Sitix 集團(tuán), 1998 年更名為住友金屬工業(yè)公司。 1999 年, 住友金屬工業(yè)與三菱材料和三菱硅材料公司成立 300mm 硅片制造企業(yè)——聯(lián)合硅制造公司。 2002 年, 住友金屬工業(yè)的硅制造部門、 聯(lián)合硅制造公司以及三菱硅材料公司合并成立住友三菱硅公司, 2005 年更名為 SUMCO 集團(tuán)。
SUMCO 全球網(wǎng)絡(luò)
  公司的主營業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體硅片的制造, 目前產(chǎn)品類型包括高純單晶硅錠、高質(zhì)量拋光硅片、 AW 高溫退火晶片、 EW 外延片、 JIW 結(jié)隔離硅片、 SOI 絕緣體上硅、 RPW 再生拋光硅片。 在高純拋光硅片、退火晶片和外延片方面可以提供 300mm 大尺寸產(chǎn)品,SOI 硅片可以提供 200mm 尺寸產(chǎn)品。

 ?。?)臺(tái)灣環(huán)球晶圓 Global Wafers
  環(huán)球晶圓的前身為 SAS 中美硅晶制品股份有限公司的半導(dǎo)體事業(yè)處,中美硅晶集團(tuán)于 1981 年成立于新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū),是目前臺(tái)灣地區(qū)最大的 3 寸至 12 寸半導(dǎo)體硅晶圓材料供應(yīng)商,同時(shí)也提供優(yōu)質(zhì)的太陽能晶圓及晶棒。為使旗下事業(yè)部各自有更大的成長動(dòng)能與更顯著的經(jīng)營績效,中美硅晶于 2011 年 10 月 1 日完成企業(yè)體的獨(dú)立分割,正式將半導(dǎo)體事業(yè)處分割獨(dú)立而成為環(huán)球晶圓股份有限公司。
1999 年 SAS 中美硅晶公司在中國大陸成立昆山中辰硅晶公司, 生產(chǎn) 6 寸和 8 寸半導(dǎo)體硅片, 2011 年之后成為環(huán)球晶圓 100%控股的子公司; SAS 中美硅晶公司在 2008年 4 月收購了美國硅片制造商 GlobiTech(生產(chǎn) 6 寸和 8 寸硅片), 2011 年之后成為了環(huán)球晶圓 100%控股的子公司;環(huán)球晶圓于 2012 年 4 月收購了當(dāng)時(shí)全球排名第六的日本 Covalent 硅片公司, 2013 年 1 月更名為 GlobalWafers Japan,產(chǎn)品覆蓋全部尺寸的半導(dǎo)體硅片。
  2016 年 6 月,環(huán)球晶圓以 3.2 億丹麥克朗(約人民幣 3.16 億元) 100%收購丹麥Topsil 半導(dǎo)體事業(yè)群, 生產(chǎn) 3 寸到 8 寸硅晶圓產(chǎn)品; 2016 年 12 月,環(huán)球晶圓宣布完成收購全球第四大硅片廠 SunEdision Semiconductor,交易價(jià)格為 6.83 億美元, 環(huán)球晶圓成為全球第三大半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商, 預(yù)計(jì) 2016 年市場份額為 17-19%。
  環(huán)球晶圓擁有完整的晶圓生產(chǎn)線, 可以提供的硅片產(chǎn)品包括:拋光片、擴(kuò)散片、退火晶片、磊晶片等。 產(chǎn)品應(yīng)用已跨越電源管理元件、車用功率元件、信息通信元件、MEMS 元件等領(lǐng)域。

 ?。?)德國 Siltronic
  Siltronic AG 是一家總部位于德國慕尼黑的半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商, 前身是成立于 1968年的 Wacker-Chemitronic GmbH, 1994 年更名為 Wacker Siltronic GmbH, 2004 年再次更名為 Siltronic AG。 Slitronic 是全球首個(gè)推出 300mm 晶圓的公司。
  目前公司的生產(chǎn)基地位于德國布格豪森、弗萊貝格、美國波特蘭和新加坡。 自 2014年 1 月起,公司與三星成立合資公司(公司持股 78%),在新加坡運(yùn)行了全球最大的200mm(23 萬片/月) 和 300mm(32.5 萬片/月) 硅片廠。
  Siltronic 目前為全球前二十大晶圓制造工廠供應(yīng)硅片, 2015 年其中前十大客戶占公司收入的 65%。 在 2008 年公司的產(chǎn)能利用率僅僅為 60%, 如今 2016 下半年的產(chǎn)能利用率已經(jīng)達(dá)到 100%。

 ?。?)美國 SunEdison Semiconductor
  SunEdison 前身是始創(chuàng)于 1959 年的美商休斯電子材料公司(MEMC),是全球硅材料鼻祖之一。 2009 年 MEMC 收購了還未上市的 SunEdison——當(dāng)時(shí)北美最大的太陽能服務(wù)提供商,并在 2013 年將公司更名為 SunEdison。 然而由于全球光伏產(chǎn)業(yè)的激烈競爭, 在 2013 年,公司將旗下子公司 SunEdison Semiconductor(也就是原來 MEMC的半導(dǎo)體硅材料業(yè)務(wù))進(jìn)行分拆上市。
  分拆半導(dǎo)體硅之后的 SunEdison,由于近些年激進(jìn)的并購擴(kuò)張, 以及全球光伏的不景氣, 導(dǎo)致其債務(wù)高企而深陷財(cái)務(wù)危機(jī),并于 2016 年 4 月正式遞交 Chapter11 破產(chǎn)保護(hù)申請(qǐng)進(jìn)入破產(chǎn)重整階段。 2016 年 8 月 28 日,保利協(xié)鑫宣布與 SunEdison 簽署協(xié)議,擬以約1.5 億美元的價(jià)格收購后者及其附屬企業(yè) SunEdison Products Singapore、MEMC Pasadena、 Solaicx 的相關(guān)資產(chǎn)。
  分拆出來的 SunEdison Semiconductor 于 2014年 5月正式在美國納斯達(dá)克上市,截止 2015 年底擁有 4400 名員工, 主要制造工廠在美國本土、意大利、日本和韓國。 在半導(dǎo)體硅材料方面,公司主要提供 200mm 和 300mm 硅片(PW 拋光片、 SOI絕緣體上硅、EPI 外延片、MDZ 魔術(shù)潔凈區(qū)硅片等),可用于高端邏輯器件、NAND/DRAM存儲(chǔ)芯片、 MPU/MCU、 CIS、 RF 射頻、模擬/ASIC 芯片等領(lǐng)域。
  2016年10月臺(tái)灣晶圓廠商環(huán)球晶圓以6.8億美元(包括SunEdisonSemiconductor 現(xiàn)有凈債務(wù))收購SunEdison Semiconductor全部流通在外普通股。2016 年12月6日收購正式完成,環(huán)球晶圓成為全球第三大半導(dǎo)體硅材料供應(yīng)商。合并后的公司將結(jié)合環(huán)球晶圓頂尖的營運(yùn)模式與市場優(yōu)勢以及 SunEdisonSemiconductor 遍及全球的網(wǎng)絡(luò)和產(chǎn)品研發(fā)能力。環(huán)球晶圓預(yù)期將大幅提升生產(chǎn)產(chǎn)能、增加產(chǎn)品線與全球客戶群,不僅可以拓展韓國及歐洲客戶,也可一并取得 SOI 晶圓之技術(shù)和產(chǎn)能,財(cái)務(wù)規(guī)模也將顯著擴(kuò)大。
  
 ?。?)韓國 LG Siltron
  LG Siltron 是韓國國內(nèi)唯一一家本土半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)商,公司成立于 1993 年。 1991年公司合并了韓國 Lucky Advanced Materials 的硅片業(yè)務(wù)部門, 1995 年合并了韓國Dongyang Electronic Metals 的硅片部門。1996 年推出商業(yè)化量產(chǎn)的 200mm 硅片,2002年推出 300mm 硅片, 2014 年推出 450mm 硅片。
  公司目前主要供應(yīng)高純單晶硅錠和不同尺(150mm/200mm/300mm/450mm)規(guī)格的拋光片(用于 DRAM、 FLASH、 顯示驅(qū)動(dòng)等領(lǐng)域)和外延片(用于 MCU、 CIS、電源管理芯片等領(lǐng)域)。

  中國大陸半導(dǎo)體硅晶片狀況
  目前,中國大陸半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商主要生產(chǎn) 6 英寸及以下硅片, 8 英寸(200mm)產(chǎn)品僅有北京有研總院、 浙江金瑞泓、 昆山中辰(臺(tái)灣環(huán)球晶圓子公司) 等少數(shù)廠商生產(chǎn)。在 8 寸晶圓方面,大陸目前已有產(chǎn)線的月產(chǎn)能共計(jì) 70 萬片/月,興建中的產(chǎn)能為 26.5萬片/月。 而具備 8 寸生產(chǎn)能力的有浙江金瑞泓、昆山中辰(臺(tái)灣環(huán)球晶圓子公司)、北京有研總院,合計(jì)月產(chǎn)能為 9.3 萬片/月,遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到需求。
  12 英寸(300mm) 硅片方面, 目前中國的總需求約為 42 萬片/月,預(yù)計(jì)到 2018 年總需要為 109 萬片/月。而目前中國大陸還不具備 300mm 電子級(jí)硅片的生產(chǎn)能力,最快也要到 2017 年底,上海新昇半導(dǎo)體預(yù)計(jì)完成第一期產(chǎn)品投產(chǎn),計(jì)劃月產(chǎn) 15 萬片,到2020 年第二期產(chǎn)品投產(chǎn),計(jì)劃月產(chǎn) 30 萬片,與龐大的需求相比仍然那是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。
中國大陸半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商
 ?。?)上海新昇半導(dǎo)體
  上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司成立于 2014 年 6 月,坐落于上海臨港重裝備區(qū)內(nèi),占地 150 畝,總投資 68 億元,一期總投資 23 億元。 公司創(chuàng)始人張汝京, 是大陸半導(dǎo)體行業(yè)教父級(jí)人物, 曾任臺(tái)灣世大晶圓廠半導(dǎo)體總經(jīng)理, 2000 年創(chuàng)辦中芯國際, 2014 年進(jìn)軍大硅片領(lǐng)域。
  公司由上海新陽、興森科技、 上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司、 上海皓芯投資管理有限公司(張汝京為首的核心技術(shù)團(tuán)隊(duì))合資成立。 2016 年 6 月, 上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司對(duì)其進(jìn)行增資,成為最大股東持股比例 42.31%, 其后為上海新陽(24.36%)、興森科技(20.51%)、 上海皓芯投資管理有限公司(12.82%)。
  新昇半導(dǎo)體一期預(yù)計(jì)在 16 年年底開始量產(chǎn), 在 2017 年底實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能 15 萬片,最終的月產(chǎn)能為 15 萬片 12 英寸和 5 萬片 8 英寸硅片, 預(yù)計(jì) 2021-2022 年, 最終將形成300mm 硅片 60 萬片/月的產(chǎn)能,年產(chǎn)值達(dá)到 60 億元,達(dá)到世界先進(jìn)水平。
  新昇半導(dǎo)體第一期目標(biāo)致力于在我國研究、開發(fā)適用于 40-28nm 節(jié)點(diǎn)的 300mm 硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等硅片產(chǎn)業(yè)化成套量產(chǎn)工藝;建設(shè) 300毫米半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)基地,實(shí)現(xiàn) 300 毫米半導(dǎo)體硅片的國產(chǎn)化,充分滿足我國極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)硅襯底基礎(chǔ)材料的迫切要求。
  公司計(jì)劃生產(chǎn)的產(chǎn)品包括: 300mm 的拋光片、退火片、外延片、 Monitor Wafer、Test Wafer 和 SOI 襯底硅片等。 新昇半導(dǎo)體的核心團(tuán)隊(duì)由來自中國大陸、中國臺(tái)灣、日本、美國、韓國、歐洲等多個(gè)國家和地區(qū)的資深專家和各類專業(yè)人士構(gòu)成,均為半導(dǎo)體硅片行業(yè)的一流技術(shù)和管理人才,有著多年 300mm 大硅片研發(fā)與生產(chǎn)實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。

  (2)上海新傲半導(dǎo)體
  上海新傲科技有限公司成立于 2001 年, 由中科院上海微系統(tǒng)所牽頭,聯(lián)合中外投資者設(shè)立, 由王曦院士和其團(tuán)隊(duì)建立之初,就一直專注于 SOI。 2009 年 6 月整體變更改制為上海新傲科技股份有限公司,是一家致力于高端硅基材料研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)。
  2010 年 12 月,新傲北區(qū)新廠建成投產(chǎn)。 目前,新傲的 EPI 產(chǎn)能已擴(kuò)充至兩倍以上,SOI 產(chǎn)能也實(shí)現(xiàn)規(guī)?;?。而且兩項(xiàng)業(yè)務(wù)均已突破 8 英寸技術(shù),并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。 2014 年 5月 23 日,新傲與法國 Soitec(2015 年全球第 7 大半導(dǎo)體硅片廠) 達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議,啟動(dòng)了國際性產(chǎn)業(yè)合作。 2015 年 9 月,新傲與 Soitec 合作,成功制備出第一批基于注氫層轉(zhuǎn)移技術(shù)的 8 英寸 SOI 晶圓。
  新傲公司目前是中國最大的 SOI 材料生產(chǎn)基地,也是世界上屈指可數(shù)的 SOI 材料規(guī)?;?yīng)商之一。 擁有 SIMOX(注氧隔離)、 Bonding(鍵合)和 Simbond(完全自主開發(fā)的 SOI 新技術(shù))和 Smart-cut 四類 SOI 晶片制造技術(shù),能夠提供 100mm(4 英寸)、 125mm(5 英寸)和 150mm(6 英寸) SOI 晶片和 SOI 外延片,能批量提供 8 英寸 SOI 片。
  新傲公司豐富的產(chǎn)品能夠覆蓋 SOI 的所有應(yīng)用領(lǐng)域,產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)能力得到了國際著名公司的認(rèn)可。 目前,新傲公司的產(chǎn)品 90%以上銷售到美、日、歐、俄、韓、臺(tái)灣和新加坡等地,并成為 NXP、 TOSHIBA、 Global Foundries、 Vanguard、 Hitachi、CSMC、 Mellanox 等國際知名公司的供貨商。
  新傲公司目前也是中國技術(shù)領(lǐng)先的 EPI 外延硅片供應(yīng)商。 作為國內(nèi)首家合資外延廠商,新傲公司可以提供 4-6 英寸的所有規(guī)格與要求的外延硅產(chǎn)品和外延加工服務(wù),現(xiàn)已開始批量提供 8 英寸外延片。新傲公司的外延客戶現(xiàn)已遍及美、日、 韓、臺(tái)、俄、印等國家和地區(qū),其中包括日本三菱、夏普、 VISHAY、華潤上華等國際知名公司。

 ?。?)浙江金瑞泓
  浙江金瑞泓科技股份有限公司是一家致力于半導(dǎo)體材料研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè),創(chuàng)建于 2000 年 6 月,位于寧波市保稅區(qū),2011 年 11 月由寧波立立電子股份有限公司更名而來。具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片、功率芯片制造的產(chǎn)業(yè)鏈最為完整的半導(dǎo)體企業(yè)。
  在 2003 年聯(lián)合浙江大學(xué)硅材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室成功拉制我國第一根具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超大規(guī)模集成電路用 12 英寸摻氮硅單晶。公司主營產(chǎn)品為技術(shù)含量高、附加值高的各尺寸硅片, 其中 8 英寸拋光片和外延片在 2009 年開始批量生產(chǎn)并銷售,率先實(shí)現(xiàn)我國 8 英寸硅片正片供應(yīng)零的突破。
  產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、分立器件等領(lǐng)域,約 40%銷往到美國、歐洲、新加坡、日本、韓國和中國臺(tái)灣等國家與地區(qū)的知名晶圓廠商,包括 ONsemi、 Fairchild、 IR、TI、 NEC 等國際知名公司,同時(shí)也是中芯國際、華虹 NEC、上海先進(jìn)、蘇州和艦、杭州士蘭等國內(nèi)相關(guān)企業(yè)的重要供應(yīng)商。

 ?。?)洛陽單晶硅
  洛陽單晶硅集團(tuán)是國家投資興建的、為科研、信息產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)提供硅材料的高新技術(shù)企業(yè)。其前身是洛陽單晶硅廠, 1998 年改制為洛陽單晶硅有限責(zé)任公司, 2014年 8 月更名為洛陽單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司。目前洛單集團(tuán)下轄 3 個(gè)子公司:麥斯克電子材料有限公司、洛陽樂擔(dān)商貿(mào)有限公司,河南洛單半導(dǎo)體技術(shù)有限公司。
  洛陽單晶硅廠始建于 1965 年,第一個(gè)從日本引進(jìn)技術(shù)和裝備、在國內(nèi)最早成立的國有大型硅材料生產(chǎn)企業(yè)。 1995 年,洛單集團(tuán)與美國 MEMC 公司(SunEdisonSemiconductor 的前身)合資成立的麥斯克電子材料有限公司,是國內(nèi)硅片制造業(yè)第一家中外合資企業(yè)。     
  2000 年 8 月,洛單集團(tuán)劃歸河南省,成為河南省人民政府國有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員會(huì)管理的省管大型國有企業(yè)。
  2013 年 6 月,搬遷擴(kuò)產(chǎn) 120M 平方英寸/年電路級(jí)硅拋光片項(xiàng)目動(dòng)工興建。項(xiàng)目總投資 10.98 億元,占地 150 畝。 2014 年 10 月由基建轉(zhuǎn)入設(shè)備聯(lián)機(jī)調(diào)試和試運(yùn)行階段。該項(xiàng)目建成并達(dá)產(chǎn)后,可年產(chǎn) 5 英寸電路級(jí)硅拋光片 112 萬片, 6 英寸電路級(jí)硅拋光片360 萬片,并具有研發(fā)及生產(chǎn)8英寸硅拋光片的能力,可實(shí)現(xiàn) 5 萬片/月 8 英寸硅拋光片的生產(chǎn)能力。
  洛單集團(tuán)的主導(dǎo)產(chǎn)品為半導(dǎo)體電路級(jí)硅單晶及硅拋光片, 產(chǎn)品廣泛用于科研、信息產(chǎn)業(yè)等。自行研制成功國內(nèi)第一批 4、 5、 6 英寸背封拋光片生產(chǎn)工藝等 10 多項(xiàng)技術(shù),填補(bǔ)了國內(nèi)半導(dǎo)體硅材料加工領(lǐng)域的空白。 產(chǎn)品多次成功用于運(yùn)載火箭、洲際導(dǎo)彈、人造衛(wèi)星發(fā)射和核潛艇等試驗(yàn)。
 

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