名稱 | 稀土化合物漿料及金剛石厚膜的表面刻蝕方法 | ||
公開號(hào) | 1258765 | 公開日 | 2000.07.05 |
主分類號(hào) | C30B33/08 | 分類號(hào) | C30B33/08 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 99124562.8 | ||
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1999.12.10 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
申請(qǐng)人 | 吉林大學(xué) | 地址 | 130012吉林省長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)前衛(wèi)路10號(hào) |
發(fā)明人 | 王佳宇; 陳宏宇; 白亦真; 金曾孫 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
專利代理機(jī)構(gòu) | 吉林大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人 | 王恩遠(yuǎn) |
摘要 | 本發(fā)明屬金剛石厚膜的表面刻蝕方法。采用稀土化合物漿料,如以氧化鈰和硝酸鑭為原料的漿料,印刷于金剛石厚膜生長(zhǎng)面,再經(jīng)400~600℃燒結(jié)2~5小時(shí),最后用濃硫酸清洗。漿料是將原料與溶劑混合研磨再加調(diào)和劑配制而成。本發(fā)明原料便宜用量少,可刻蝕工藝簡(jiǎn)單,不需要真空高溫的苛刻條件和復(fù)雜設(shè)備,成本降低;刻蝕效果好,能減小機(jī)械拋光時(shí)間;漿料絲網(wǎng)印刷可圖形化。這些都利于金剛石厚膜在電子封裝領(lǐng)域中的應(yīng)用。 |