名稱(chēng) | 金剛石復(fù)合涂層拉絲模制備方法 | ||
公開(kāi)號(hào) | 1327084 | 公開(kāi)日 | 2001.12.19 |
主分類(lèi)號(hào) | C23C16/27 | 分類(lèi)號(hào) | C23C16/27;B21C3/02 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 01113027.X | ||
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 2001.05.31 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
申請(qǐng)人 | 上海交通大學(xué) | 地址 | 200030上海市華山路1954號(hào) |
發(fā)明人 | 沈荷生;張志明;郭松壽 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 上海交通大學(xué)專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | 毛翠瑩 |
摘要 | 一種金剛石復(fù)合涂層拉絲模制備方法,以大孔徑硬質(zhì)合金拉絲模為襯底,經(jīng)稀鹽酸滴加雙氧水腐蝕,清洗后用穿孔熱絲CVD法首先沉積一層常規(guī)金剛石薄膜,然后降低反應(yīng)氣體壓力,增加碳源體積濃度,并添加Ar氣,原位繼續(xù)沉積一層納米金剛石膜組成復(fù)合涂層。本發(fā)明的復(fù)合涂層既具有常規(guī)涂層耐磨,附著力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),又兼有納米金剛石涂層表面光滑,摩擦系數(shù)小,易研磨拋光等特點(diǎn),適用于各種金屬材料的拉絲。 |