金剛石復(fù)合涂層拉絲模制備方法
關(guān)鍵詞 金剛石 , 復(fù)合涂層 , 拉絲模|2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱金剛石復(fù)合涂層拉絲模制備方法公開號1327084公開日2001.12.19主分類號C23C16/27
名稱 |
金剛石復(fù)合涂層拉絲模制備方法 |
公開號 |
1327084 |
公開日 |
2001.12.19 |
主分類號 |
C23C16/27 |
分類號 |
C23C16/27;B21C3/02 |
申請?zhí)?/strong> |
01113027.X |
分案原申請?zhí)?/strong> |
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申請日 |
2001.05.31 |
頒證日 |
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優(yōu)先權(quán) |
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申請人 |
上海交通大學(xué) |
地址 |
200030上海市華山路1954號 |
發(fā)明人 |
沈荷生;張志明;郭松壽 |
國際申請 |
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國際公布 |
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進(jìn)入國家日期 |
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專利代理機(jī)構(gòu) |
上海交通大學(xué)專利事務(wù)所 |
代理人 |
毛翠瑩 |
摘要 |
一種金剛石復(fù)合涂層拉絲模制備方法,以大孔徑硬質(zhì)合金拉絲模為襯底,經(jīng)稀鹽酸滴加雙氧水腐蝕,清洗后用穿孔熱絲CVD法首先沉積一層常規(guī)金剛石薄膜,然后降低反應(yīng)氣體壓力,增加碳源體積濃度,并添加Ar氣,原位繼續(xù)沉積一層納米金剛石膜組成復(fù)合涂層。本發(fā)明的復(fù)合涂層既具有常規(guī)涂層耐磨,附著力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),又兼有納米金剛石涂層表面光滑,摩擦系數(shù)小,易研磨拋光等特點(diǎn),適用于各種金屬材料的拉絲。 |
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