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官方微信摘要 名稱人造金剛石薄膜快速生長(zhǎng)的方法公開(kāi)號(hào)1106470公開(kāi)日1995.08.09主分類號(hào)C23C16/26
| 名稱 | 人造金剛石薄膜快速生長(zhǎng)的方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1106470 | 公開(kāi)日 | 1995.08.09 |
| 主分類號(hào) | C23C16/26 | 分類號(hào) | C23C16/26;C23C16/50 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 94105416.0 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1994.07.15 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 鄭魯生; 馬元震; 朱紀(jì)伍 | 地址 | 250014山東省濟(jì)南市55169部隊(duì)一號(hào)信箱 |
| 發(fā)明人 | 鄭魯生; 馬元震; 朱紀(jì)伍 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 代理人 | ||
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種人造金剛石薄膜快速生長(zhǎng)技術(shù)，系將金屬材料鉬、鈦工件用金剛石微粉打磨其表面，然后在其上涂覆有催化劑與金剛石微粉混合在一起的涂覆料，將其放入微波等離子體合成金剛石薄膜機(jī)的真空反應(yīng)區(qū)內(nèi)，抽真空至真空度達(dá)Ｐａ#+[－１]后，先充入氫氣，再通入甲烷氣或碳?xì)浠铮蜷_(kāi)微波電源微波放電，在反應(yīng)室內(nèi)發(fā)生電離，碳?xì)浠锘蚣淄闅夥纸?，１小時(shí)后放入反應(yīng)室的工件表面，熱沉上１．５ｍｍ厚的人造金剛石薄膜。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)