申請?zhí)? 201720724618.1

申請日: 2017.06.20

申請人: 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院

發(fā)明人: 唐永炳; 王陶; 黃磊

       摘要： 

       本實用新型提供了一種表面具有高致密納米金剛石薄膜的工件，包括工件基體和緊密結(jié)合在所述工件基體表面的高致密納米金剛石薄膜，所述工件基體為硅基體、二氧化硅基體、碳化硅基體、氧化銅基體、氮化硅基體或硬質(zhì)合金基體，所述金剛石薄膜的厚度為50?150nm。本實用新型的表面具有高致密納米金剛石薄膜的工件，其工件基體材質(zhì)可選種類多，工件形狀構(gòu)造不限，且金剛石薄膜具有納米級厚度，薄膜質(zhì)量高，結(jié)合力強(qiáng)，推動了金剛石薄膜在納米機(jī)電系統(tǒng)中的應(yīng)用。 

       主權(quán)利要求:

       一種表面具有高致密納米金剛石薄膜的工件，其特征在于，包括工件基體和緊密結(jié)合在所述工件基體表面的高致密納米金剛石薄膜，所述工件基體為原子力顯微分析儀探針，所述探針為硅材質(zhì)探針或氮化硅材質(zhì)探針，所述金剛石薄膜的厚度為50-150nm。