申請(qǐng)?zhí)枺?01710053477.X
　　申請(qǐng)人：朱勝利
　　發(fā)明人：朱勝利

　　摘要： 本發(fā)明屬于硅片表面處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金剛石線切割硅片的表面處理裝置及表面處理方法。該表面處理裝置包括一個(gè)頂部開(kāi)口的磨蝕槽和兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的第一磨蝕架、第二磨蝕架，磨蝕槽內(nèi)填充有磨蝕顆粒懸浮液；第一磨蝕架上安裝有吸附裝置，第二磨蝕架上安裝有磨蝕裝置或者吸附裝置；吸附裝置用于吸附固定待處理的金剛石線切割硅片，磨蝕裝置上設(shè)置有平板狀或者圓輥狀的磨蝕面。本發(fā)明通過(guò)配制磨蝕顆粒懸浮液，利用磨蝕顆粒的不規(guī)則棱角對(duì)金剛石線切割硅片表面進(jìn)行磨蝕處理，本發(fā)明完全采用機(jī)械磨蝕進(jìn)行處理，而不需要使用強(qiáng)腐蝕性的酸、堿等化學(xué)物質(zhì)，安全環(huán)保，處理效率高。 　　主權(quán)利要求：1.一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設(shè)備，其特征在于：其結(jié)構(gòu)包括：加工主箱體(1)、空氣泵(2)、排氣管(3)、控制面板(4)、顯示屏(5)、進(jìn)水管(6)、電源按鈕(7)、出貨口(8)、控制旋鈕(9)、控制按鈕(10)、底部支架(11)、出水管(12)、進(jìn)貨口(13)、工作監(jiān)視窗(14)，所述控制面板(4)的左上角設(shè)有顯示屏(5)，所述顯示屏(5)的右邊設(shè)有電源按鈕(7)，所述電源按鈕(7)的下方設(shè)有控制旋鈕(9)，所述控制旋鈕(9)的左邊設(shè)有控制按鈕(10)，所述加工主箱體(1)的左部設(shè)有進(jìn)貨口(13)，所述加工主箱體(1)的右部設(shè)有出貨口(8)，所述加工主箱體(1)的上部設(shè)有空氣泵(2)，所述空氣泵(2)和排氣管(3)連接，所述空氣泵(2)的右邊設(shè)有進(jìn)水管(6)，所述加工主箱體(1)的下方設(shè)有底部支架(11)，所述底部支架(11)的內(nèi)部設(shè)有出水管(12)，所述加工主箱體(1)包括：加固箱體外壁(101)、打磨設(shè)備(102)、集氣管(103)、集氣斗(104)、增壓泵(105)、清洗水管(106)、集水箱(107)，所述加固箱體外壁(101)的內(nèi)部的左部設(shè)有打磨設(shè)備(102)，所述集氣管(103)的右邊設(shè)有增壓泵(105)，所述增壓泵(105)的下方和清洗水管(106)連接，所述增壓泵(105)和進(jìn)水管(6)固定連接。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設(shè)備，其特征在于：所述加工主箱體(1)的前部設(shè)有工作監(jiān)視窗(14)。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設(shè)備，其特征在于：所述工作監(jiān)視窗(14)的右邊設(shè)有控制面板(4)。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設(shè)備，其特征在于：所述打磨設(shè)備(102)的右邊設(shè)有集氣管(103)，所述集氣管(103)的下方設(shè)有集氣斗(104)。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設(shè)備，其特征在于：所述清洗水管(106)的下方設(shè)有集水箱(107)，所述集水箱(107)和出水管(12)連接。