申請?zhí)? 201610003381.8
       主分類號: B24D 18/00(2006.01)
       申請人: 北京師范大學(xué)
       發(fā)明人: 廖斌; 歐陽曉平; 羅軍; 張旭; 吳先映; 王宇東
       摘要： 本發(fā)明公開了一種基于離子束技術(shù)提高拋光光學(xué)玻璃的金剛石砂輪棒壽命方法，該方法是利用離子注入技術(shù)及磁過濾沉積技術(shù)在金剛砂表面沉積超厚超硬以及摩擦系數(shù)高以及韌性好的(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復(fù)合膜，其中，制備該(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復(fù)合膜方法包括：采用金屬陰極真空磁過濾沉積系統(tǒng)(FCVA)，在砂輪棒表面利用高能大束流金屬離子束對工件進(jìn)行清洗；然后采用金屬真空蒸汽離子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一層能提高膜基結(jié)合力的金屬″釘扎層″；在所述的金屬″釘扎層″之上，采用磁過濾陰極真空弧沉積方法(FCVA)，在對氣體進(jìn)氣量進(jìn)行正弦或余弦調(diào)制沉積得到超硬韌性好的厚(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復(fù)合膜層；重復(fù)調(diào)制周期直至(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復(fù)合膜總厚度為10-30微米。通過實施本發(fā)明，在工件沉積(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復(fù)合膜具有很好韌性以及很高的顯微硬度，能提高砂輪棒壽命2-5倍。

       主權(quán)利要求
       1.一種利用離子注入技術(shù)以及磁過濾沉積技術(shù)沉積超厚超硬摩擦系數(shù)高以及韌性好的(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復(fù)合膜層來提高拋光光學(xué)玻璃的金剛石砂輪棒壽命的方法。