申請(qǐng)人:中國(guó)工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所
發(fā)明人:岳曉斌 雷大江 崔海龍 張曉峰 鄧飛 劉坤 吳定柱 劉波 藍(lán)河
摘要: 本發(fā)明提供了一種金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,所述的調(diào)心裝置含有促動(dòng)器、支架、安裝板、頂頭、彈簧、彈簧座、擋塊、螺釘、預(yù)緊螺釘、螺紋孔,其連接方式為:促動(dòng)器固定連接于支架上;頂頭固定連接于支架上;彈簧座固定連接于支架上;彈簧固定連接于彈簧座;擋塊固定鏈接于安裝板上;安裝板固定連接于支架上。本發(fā)明的金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置能夠?qū)崿F(xiàn)基于原子力顯微鏡的刀尖圓弧波紋度的納米級(jí)測(cè)量。
主權(quán)利要求:1.一種金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,其特征在于,所述的調(diào)心裝置含有促動(dòng)器(1)、支架(2)、安裝板(3)、頂頭(4)、彈簧(5)、彈簧座(6)、擋塊(7)、螺釘(8)、預(yù)緊螺釘(9)、螺紋孔(10),其連接關(guān)系為:促動(dòng)器(1)固定連接于支架(2)上;頂頭(4)固定連接于支架(2)上;彈簧座(6)固定連接于支架(2)上;彈簧(5)固定連接于彈簧座(6);擋塊(7)固定鏈接于安裝板(3)上;安裝板(3)固定連接于支架(2)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,其特征在于:所述的促動(dòng)器(1)為兩個(gè),兩者呈90°垂直設(shè)置,分別安裝在支架(2)上;所述的促動(dòng)器(1)的移動(dòng)精度分辨率為20nm,用于實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)的位移調(diào)整。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,其特征在于:所述的彈簧座(6)設(shè)置有兩個(gè),兩者呈90°垂直設(shè)置,分別安裝在支架(2)上;所述的彈簧座(6)與促動(dòng)器(1)沿支架(2)軸向?qū)ΨQ(chēng)設(shè)置;所述的彈簧座(6)的重量與促動(dòng)器(1)的重量相匹配,以便使調(diào)心裝置的重心位于支架(2)的幾何中心上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,其特征在于:所述的彈簧(5)設(shè)置有兩個(gè),垂直安裝在彈簧座(6)上并與頂頭(4)配合使用。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,其特征在于:所述的擋塊(7)通過(guò)螺釘(8)固定于安裝板(3)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,其特征在于:所述的安裝板(3)通過(guò)預(yù)緊螺釘(9)固定于支架(2)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石刀具測(cè)量用調(diào)心裝置,其特征在于:所述的螺紋孔(10)用于安裝金剛石刀具,螺紋孔(10)設(shè)置為四個(gè)。