申請?zhí)枺?span>201210560797

　　申請人：清華大學

　　摘要：本發(fā)明公開了屬于表面超精研磨技術領域的一種油性金剛石研磨液及其制備方法，本研磨液含有以下組分：金剛石微粉、表面活性劑、分散劑、pH值調(diào)節(jié)劑、潤濕劑和油，各組分的重量配比（wt.）為：金剛石微粉：0.001%-10%；表面活性劑：0.001%-20%；分散劑：0-20%；pH值調(diào)節(jié)劑：0-10%；潤濕劑：0-10%；其余為油。主要應用于碳化硅晶片、LED藍寶石襯底片、陶瓷、光纖、模具及半導體化合物晶片等表面的研磨拋光。使用本發(fā)明提供的研磨液可大大的提高拋光效率，分散性能好，可以長期保持均勻穩(wěn)定狀態(tài)，用其拋光后產(chǎn)品光潔度高，拋光效果好并且不含對人體有害成分，易于清洗，有利于環(huán)保。

　　獨立權利要求：1.一種油性金剛石研磨液，其特征在于，該研磨液由金剛石微粉、表面活性劑、分散劑、pH值調(diào)節(jié)劑、潤濕劑和油組成，各成分的重量百分含量為：金剛石微粉：0.001%-10%；表面活性劑：0.001%-20%；分散劑：0-20%；pH值調(diào)節(jié)劑：0-10%；潤濕劑：0-10%；其余為油；其中，所述的表面活性劑為非離子表面活性劑、陰離子表面活性劑或陽離子表面活性劑中的一種或幾種，所述的非離子表面活性劑為蓖麻油聚氧乙烯醚、月桂酸聚氧乙烯酯、油酸聚氧乙烯酯、硬脂酸聚氧乙烯酯、脂肪胺聚氧乙烯醚、嵌段聚氧乙烯-聚氧丙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺聚氧乙烷醚、烷基糖苷、椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、乙二醇單硬脂酸酯、聚乙二醇雙硬脂酸酯、甘油單硬脂酸酯、聚甘油單硬脂酸酯、蔗糖脂肪酸酯、失水山梨醇脂肪酸酯、聚氧乙烯失水山梨醇脂肪酸酯中的一種或幾種；所述的陰離子表面活性劑為C12-16烷基苯磺酸鈉、烷基萘磺酸鹽、C12-16烷基磺酸鈉、α-烯烴磺酸鈉、木質(zhì)素磺酸鹽、石油磺酸鹽、C12-16烷基硫酸鹽、蓖麻油酸丁酯硫酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鹽、月桂酰氨乙基硫酸鈉、油酰氨基酸鈉、N-?；被猁}、脂肪醇聚氧乙烯醚羧酸鹽中的一種或幾種；所述的陽離子表面活性劑為咪唑啉、十二烷基三甲基氯化銨、十二烷基三甲基溴化銨、四甲基溴化銨、十二烷基三甲基硫酸銨中的一種或幾種。