名稱 | 一種用于藍寶石襯底的研磨液及其制備方法 | ||
申請?zhí)?/strong> | 201210101944 | 申請日 | 2012年4月19日 |
公開號 | 102642175A | 公開日 | 2012年8月22日 |
申請人 | 江蘇鑫和泰光電科技有限公司 | 地址 | 江蘇省常州市武進區(qū)前黃鎮(zhèn)寨橋村 |
發(fā)明人 | 儲耀卿 石劍舫 王善建; 石曉鑫 朱文超 | 主分類號 | C09G 1/02 |
國家/省市 | 國家/省市:中國浙江( 33 ) | 分類號 | C09G 1/02 |
摘要 | 本發(fā)明涉及藍寶石晶體的研磨工序,屬于晶體材料的加工技術領域。本發(fā)明提供了一種用于高質量藍寶石襯底的研磨液,該研磨液由金剛石微粉、輔助性研磨粉、去離子水、甘油和添加劑配置而成。利用此方法配置的研磨液分散均勻,化學穩(wěn)定性好;采用此方法配置的研磨液對藍寶石晶體進行研磨,在保證襯底表面質量的前提下,提高研磨效率,有效地降低了加工成本。采用本發(fā)明的研磨液進行研磨的藍寶石襯底表面粗糙度低、平整度好、無明顯劃痕且易于清洗,符合工業(yè)生產的需求。 | ||
獨立權利要求 | 1.一種用于藍寶石襯底的研磨液,其特征在于:該研磨液按每10升混合溶劑∶1~4升添加劑∶200~1200克混合研磨粉的配比關系混合而成;所述的混合溶劑由去離子水和甘油組成,去離子水和甘油的體積比為100∶1~10;所述的添加劑的成分包括質量百分比為55-70%的去離子水、10-28%的三乙醇胺、2-6%的十二烷基硫酸鈉和3-18%的丙烯酸聚合物;所述的混合研磨粉為輔助研磨粉與金剛石微粉的混合物,輔助研磨粉與金剛石微粉的質量比為3∶10~60,輔助研磨粉為碳化硅、碳化硼和剛玉中一種或兩種或三種的組合。 |
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